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1. (WO2003058687) METHOD OF DETECTING, IDENTIFYING AND CORRECTING PROCESS PERFORMANCE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2003/058687    International Application No.:    PCT/US2002/038990
Publication Date: 17.07.2003 International Filing Date: 31.12.2002
Chapter 2 Demand Filed:    18.07.2003    
IPC:
G05B 19/418 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; TBS Broadcast Center, 3-6 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (For All Designated States Except US).
DONOHUE, John [US/US]; (US) (For US Only).
YUE, Hongyu [CN/US]; (US) (For US Only)
Inventors: DONOHUE, John; (US).
YUE, Hongyu; (US)
Agent: CASEY, Michael, R.; Oblon, Spivak, McClelland, Maier & Neustadt, P.C., 1940 Duke Stree, Alexandria, VA 22314 (US)
Priority Data:
60/343,174 31.12.2001 US
Title (EN) METHOD OF DETECTING, IDENTIFYING AND CORRECTING PROCESS PERFORMANCE
(FR) PROCEDE PERMETTANT DE DETECTER, D'IDENTIFIER ET DE CORRIGER L'EFFICACITE D'UN PROCESSUS
Abstract: front page image
(EN)A method for material processing utilizing a material processing system (1) to perform a process. The method performs a process, measures a scan of data, and transforms the data scan into a signature including at least one spatial component. The scan of data can include a process performance parameter (14) such as an etch rate, an etch selectivity, a deposition rate, a film property, etc. A relationship can be determined between the measured signature and a set of at least one controllable process parameter (12) using multivariate analysis, and this relationship can be utilized to improve the scan of data corresponding to a process performance parameter. For example, utilizing this relationship to minimize the spatial components of the scan of data can affect an improvement in the process uniformity.
(FR)Cette invention a trait à un traitement de matériaux faisant intervenir un système de traitement de matériaux (1) afin d'exécuter un processus. On exécute, dans le cadre de ce procédé, un processus et on mesure un balayage de données que l'on transforme en une signature renfermant au moins une composante spatiale. Le balayage de données peut comporter un paramètre d'efficacité de processus (14), notamment une vitesse d'attaque, une sélectivité d'attaque, une vitesse de dépôt, une propriété de film, etc. Il est possible de définir une relation existant entre la signature mesurée et un ensemble de paramètres de processus (12), un à tout le moins, sur lesquels on peut agir et ce, grâce à une analyse à plusieurs variables. Il est possible d'utiliser cette relation pour améliorer le balayage de données correspondant à un paramètre d'efficacité de processus, par exemple, pour réduire à leur minimum les composantes spatiales du balayage de données pouvant influer sur une amélioration relative à l'homogénéité du processus.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)