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1. (WO2003058182) SPECTROSCOPE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2003/058182    International Application No.:    PCT/JP2002/012650
Publication Date: 17.07.2003 International Filing Date: 03.12.2002
IPC:
G01J 3/18 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 (JP) (For All Designated States Except US).
KATSUNUMA, Atsushi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KATSUNUMA, Atsushi; (JP)
Agent: INOUE, Yoshio; 3F, Garoh Bldg. 1-4, Nihonbashi 3-chome Chuo-ku, Tokyo 103-0027 (JP)
Priority Data:
2001-400910 28.12.2001 JP
Title (EN) SPECTROSCOPE
(FR) SPECTROSCOPE
Abstract: front page image
(EN)A spectroscope comprising an incident member for capturing light to be measured, a polarization separator that separates the light to be measured from the incident member into two components having polarizing directions orthogonal to each other so that the separating direction and the polarizing directions of the two components form an angle of 45 degrees, and outputs the separated two components in two modes surface−symmetric with respect to a virtual plane orthogonal to the separating direction, a dispersion optical system that includes a diffraction grating in which a plurality of oblong grooves are one−dimensionally arranged in the separating direction and along a direction parallel to the virtual plane, respectively diffracts the two components while retaining the surface symmetry of the two components, output from the polarization separator, with respect to the virtual plane, and respectively condenses the diffracted two components to form two spectral images in a separated state, and a light receiving element that receives the above two spectral images and outputs a signal according to the intensity sum of the two spectral images.
(FR)La présente invention se rapporte à un spectroscope comportant un élément incident permettant de capturer la lumière à mesurer, un séparateur de polarisation qui sépare la lumière à mesurer en provenance de l'élément incident en deux composantes ayant des directions de polarisation orthogonales l'une à l'autre de sorte que la direction de séparation et les directions de polarisation des deux composantes forment un angle de 45 degrés, et qui délivre en sortie les deux composantes séparées dans deux modes symétriques par rapport à une surface constituée par un plan virtuel orthogonal à la direction de séparation, un système optique de dispersion qui inclut un réseau de diffraction dans lequel une pluralité de rainures oblongues sont disposées de manière unidimensionnelle dans la direction de séparation et le long d'une direction parallèle au plan virtuel, qui diffracte respectivement les deux composantes tout en conservant leur symétrie par rapport à la surface, en sortie du séparateur de polarisation, par rapport au plan virtuel, et qui condense respectivement les deux composantes diffractées de manière à former deux images spectrales dans un état distinct, et un élément récepteur de lumière qui reçoit les deux images spectrales ci-dessus et délivre en sortie un signal qui est fonction de la somme des intensités des deux images spectrales.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)