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1. (WO2003056601) APPARATUS AND METHOD FOR TREATING A WORKPIECE USING PLASMA GENERATED FROM MICROWAVE RADIATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2003/056601    International Application No.:    PCT/US2002/040231
Publication Date: 10.07.2003 International Filing Date: 17.12.2002
Chapter 2 Demand Filed:    27.06.2003    
IPC:
H01J 37/32 (2006.01), H05H 1/24 (2006.01)
Applicants: THE PROCTER & GAMBLE COMPANY [US/US]; One Procter & Gamble Plaza, Cincinnati, OH 45202 (US)
Inventors: SHANOV, Vesselin, Nikolov; (US).
MCDANIEL, John, Andrew; (US).
MIRALAI, Seyed, Farhad; (US).
DATTA, Saswatti; (US)
Agent: REED, T., David; The Procter & Gamble Company, 6110 Center Hill Road, Cincinnati, OH 45224 (US)
Priority Data:
10/027,616 21.12.2001 US
Title (EN) APPARATUS AND METHOD FOR TREATING A WORKPIECE USING PLASMA GENERATED FROM MICROWAVE RADIATION
(FR) APPAREIL ET PROCEDE DE TRAITEMENT D'UNE PIECE A USINER AU MOYEN DE PLASMA GENERE A PARTIR D'UN RAYONNEMENT DE MICRO-ONDES
Abstract: front page image
(EN)An apparatus and method that generates plasma using a microwave radiation supply. The plasma is used to treat a surface of a workpiece at approximately atmospheric pressure. Plasma excites a working gas to create an excited gaseous species without degradation from undue heat caused by the plasma. The gaseous species exit an outlet of the apparatus to treat the surface of a workpiece when the outlet is juxtaposed with the workpiece.
(FR)L'invention concerne un appareil et un procédé permettant de générer du plasma au moyen d'une alimentation de rayonnement de micro-ondes. Le plasma est mis en oeuvre pour traiter une surface d'une pièce à usiner à approximativement la pression atmosphérique. Le plasma excite un gaz de travail de manière à créer des espèces gazeuses sans dégradation engendrée par une chaleur excessive induite par le plasma. Les espèces gazeuses sortent au niveau d'un orifice de sortie de l'appareil, aux fins de traitement de la surface d'une pièce à usiner quand l'orifice de sortie est juxtaposé avec la pièce à usiner.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)