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1. WO2003014645 - IMPROVED LAMPHEAD FOR A RAPID THERMAL PROCESSING CHAMBER

Publication Number WO/2003/014645
Publication Date 20.02.2003
International Application No. PCT/US2002/025642
International Filing Date 08.08.2002
IPC
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
H01L 21/00 (2006.01)
CPC
H01L 21/67248
Applicants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; P.O. Box 450A Santa Clara, CA 95052, US
Inventors
  • KNOOT, Peter, A.; US
  • STEFFAS, Paul; US
Agents
  • BERNADICOU, Michael, A. ; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP 7th floor 12400 Wilshire Boulevard Los Angeles, CA 90025, US
Priority Data
09/925,20808.08.2001US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) IMPROVED LAMPHEAD FOR A RAPID THERMAL PROCESSING CHAMBER
(FR) TETE DE LAMPE AMELIOREE POUR CHAMBRE DE TRAITEMENT THERMIQUE RAPIDE
Abstract
(EN)
A semiconductor processing system and method. The system includes an assembly of radiant energy sources and a programmable switch array configured to selectively deliver power to each radiant energy source based on a plurality of control signals. The method includes measuring the temperature at a plurality of regions on a substrate and controlling a plurality of radiant energy sources to correct any non-radial temperature discontinuities.
(FR)
L'invention concerne un système et un procédé de traitement de semi-conducteurs. Ce système comprend un ensemble de sources d'énergie de rayonnement et un réseau de commutation programmable conçus pour alimenter en puissance, de façon sélective, chaque source d'énergie de rayonnement en fonction de plusieurs signaux de commande. Ce procédé consiste à mesurer la température au niveau de plusieurs zones sur un substrat et à commander plusieurs sources d'énergie de rayonnement pour corriger toutes discontinuités de températures non radiales.
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