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1. (WO2003007661) CERAMIC HEATER AND CERAMIC JOINED ARTICLE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2003/007661    International Application No.:    PCT/JP2002/006893
Publication Date: 23.01.2003 International Filing Date: 08.07.2002
IPC:
C04B 35/56 (2006.01), C04B 35/58 (2006.01), C23C 16/46 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01), H05B 3/14 (2006.01)
Applicants: IBIDEN CO., LTD. [JP/JP]; 1, Kandacho 2-chome Ogaki-shi, Gifu 503-0917 (JP) (For All Designated States Except US).
ITO, Yasutaka [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: ITO, Yasutaka; (JP)
Agent: YASUTOMI, Yasuo; Chuo BLDG. 4-20, Nishinakajima 5-chome, Yodogawa-ku Osaka-shi, Osaka 532-0011 (JP)
Priority Data:
2001-207601 09.07.2001 JP
2001-389961 21.12.2001 JP
2002-40736 18.02.2002 JP
Title (EN) CERAMIC HEATER AND CERAMIC JOINED ARTICLE
(FR) APPAREIL DE CHAUFFAGE EN CERAMIQUE ET ARTICLE EN CERAMIQUE SOUDE
Abstract: front page image
(EN)A ceramic heater for heating the whole of a semiconductor wafer uniformly by supporting it stably without causing it to bend. The ceramic heater having a heating body on the surface of or inside a disk−shaped ceramic base and having through holes for passing lifter pins therethrough in the ceramic base is characterized in that the number of through holes is three or more, and the through holes are formed in an area at a distant from the center of the ceramic base, the distance being over 1/2 of the distance from the center of the ceramic base to the edge.
(FR)L'invention concerne un appareil de chauffage en céramique utilisé pour chauffer uniformément l'ensemble d'une plaquette à semi-conducteur en la maintenant stable sans la courber. L'appareil de chauffage en céramique présente un corps de chauffe à la surface ou à l'intérieur d'un socle en céramique en forme de disque, et des trous débouchants pour y passer des broches-leviers. L'appareil se caractérise en ce qu'il comporte trois ou plusieurs trous débouchants, lesquels sont formés dans une région située à un emplacement distant du centre du socle en céramique, ladite distance correspondant à la moitié de celle qui sépare le centre du socle en céramique du bord.
Designated States: CN, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)