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1. (WO2003006718) METHOD AND APPARATUS FOR ENCAPSULATION OF AN EDGE OF A SUBSTRATE DURING AN ELECTRO-CHEMICAL DEPOSITION PROCESS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2003/006718    International Application No.:    PCT/US2002/021432
Publication Date: 23.01.2003 International Filing Date: 08.07.2002
Chapter 2 Demand Filed:    21.01.2003    
IPC:
C25D 7/12 (2006.01), C25D 17/06 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventors: KHOLODENKO, Arnold, V.; (US)
Agent: PATTERSON, B., Todd; Moser, Patterson & Sheridan, L.L.P., 3040 Post Oak Blvd., Suite 1500, Houston, TX 77056 (US)
Priority Data:
09/905,513 13.07.2001 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR ENCAPSULATION OF AN EDGE OF A SUBSTRATE DURING AN ELECTRO-CHEMICAL DEPOSITION PROCESS
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE MASQUAGE D'UNE BORDURE D'UN SUBSTRAT DURANT UN PROCEDE DE DEPOT ELECTROCHIMIQUE
Abstract: front page image
(EN)An Electro-chemical deposition method and apparatus that encapsulates a substrate's edge to prevent deposition thereon is generally provided. In one embodiment, the apparatus includes a contact ring, one or more electrical contact pads disposed on the contact ring and a thrust plate axially movable relative to the contact ring. A first seal is disposed inward of the contact pad and seals with the contact ring. A second seal is coupled to the thrust plate. The first and second seals are adapted to sandwich the substrate therebetween when the contact ring and the thrust plate are moved towards each other. In another embodiment, a third seal provides a seal between the thrust plate and contact ring, and, with the first and second seals, defines an exclusion zone encapsulating the substrate's edge. One or more electrical contact pads are protected from the electrolyte by being disposed within the exclusion zone.
(FR)L'invention concerne un procédé et un appareil de dépôt électrochimique destinés à masquer une bordure de substrat afin d'empêcher qu'un dépôt se produise dessus. Dans une réalisation, l'appareil comprend une couronne de contact, une ou plusieurs languettes de contact disposées sur la couronne et une plaque de poussée axialement mobile par rapport à la couronne de contact. Un premier joint d'étanchéité est disposé vers l'intérieur de la languette de contact et assure la jonction avec la couronne de contact. Un deuxième joint d'étanchéité est couplé à la plaque de poussée. Les premier et deuxième joints d'étanchéités sont conçus pour prendre le substrat en sandwich lorsque la couronne de contact et la plaque de poussée sont déplacées l'une vers l'autre. Dans une autre réalisation, un troisième joint d'étanchéité permet de réaliser un joint entre la plaque de poussée et la couronne de contact, et définit, avec les premier et deuxième joints, une zone d'exclusion masquant la bordure du substrat. Une ou plusieurs languettes de contact électrique sont protégées de l'électrolyte en raison de leur présence dans la zone d'exclusion.
Designated States: CN, JP, KR, SG.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)