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1. (WO2003005424) COATING DEVICE AND COATING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2003/005424    International Application No.:    PCT/JP2002/006646
Publication Date: 16.01.2003 International Filing Date: 01.07.2002
Chapter 2 Demand Filed:    30.01.2003    
IPC:
B05D 1/00 (2006.01), G03F 7/16 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (For All Designated States Except US).
KOBAYASHI, Shinji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KITANO, Takahiro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MORIKAWA, Masateru [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ISHIZAKA, Nobukazu [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KOGA, Norihisa [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MINAMI, Tomohide [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SUGIMOTO, Shinichi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
OOKURA, Jun [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KURISHIMA, Hiroaki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KOBAYASHI, Shinji; (JP).
KITANO, Takahiro; (JP).
MORIKAWA, Masateru; (JP).
ISHIZAKA, Nobukazu; (JP).
KOGA, Norihisa; (JP).
MINAMI, Tomohide; (JP).
SUGIMOTO, Shinichi; (JP).
OOKURA, Jun; (JP).
KURISHIMA, Hiroaki; (JP)
Agent: OMORI, Junichi; 4th Floor, Matrice Bldg., 2-13-7 Minamiaoyama, Minato-ku, Tokyo 107-0062 (JP)
Priority Data:
2001-202335 03.07.2001 JP
2001-269321 05.09.2001 JP
Title (EN) COATING DEVICE AND COATING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE REVETEMENT ET PROCEDE DE REVETEMENT
Abstract: front page image
(EN)The method comprises the steps of feeding in advance a coating liquid to a base board which is the same as a product board from a nozzle while scanning to form lines of coating liquid, photographing them as by a CCD camera to find the angle of contact of the coating liquid, and utilizing a geometrical model on the basis of this contact angle to find data on the relationship between the delivery flow rate for the coating liquid nozzle at the scan speed during actual coating operation, and the permissible range of pitch. And data on the relationship between the delivery flow rate for the coating liquid nozzle and the pitch is prepared in advance for each target film thickness, and the pitch is determined on the basis of the relationship data.
(FR)L'invention concerne un procédé de revêtement consistant à acheminer préalablement, par l'intermédiaire d'une buse, un liquide de revêtement jusqu'à une carte de base identique à une carte de produit tout en effectuant un balayage pour former des lignes de liquide de revêtement, à photographier ces lignes, par exemple au moyen d'un appareil CCD, pour déterminer l'angle de contact du liquide de revêtement, puis à utiliser un modèle géométrique sur la base de cet angle de contact pour déterminer des données concernant la relation entre le débit de distribution de la buse à liquide de revêtement à la vitesse de balayage au cours de l'opération de revêtement réelle et la plage de pas admissible. Des données concernant la relation entre le débit de distribution de la buse à liquide de revêtement et le pas sont préparées préalablement pour chaque épaisseur de film cible et le pas est déterminé d'après les données sur cette relation.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)