WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2003005396) METHOD AND APPARATUS FOR SCANNED INSTRUMENT CALIBRATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2003/005396 International Application No.: PCT/US2002/020498
Publication Date: 16.01.2003 International Filing Date: 28.06.2002
IPC:
C23C 16/04 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01) ,H01L 21/285 (2006.01)
Applicants: LEZEC, Henri, J.[FR/FR]; FR (UsOnly)
MUSIL, Christian R.[US/US]; US (UsOnly)
FEI COMPANY[US/US]; 7451 NW Evergreen Parkway Hillsboro, OR 97124-5830, US (AllExceptUS)
Inventors: LEZEC, Henri, J.; FR
MUSIL, Christian R.; US
Agent: SCHEINBERG, Michael, O.; P.O. Box 164140 Austin, TX 78716-4140, US
Priority Data:
10/186,20627.06.2002US
60/302,14229.06.2001US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR SCANNED INSTRUMENT CALIBRATION
(FR) PROCEDE ET APPAREIL POUR ETALONNAGE D'INSTRUMENT A BALAYAGE
Abstract: front page image
(EN) Methods and apparatus for calibration of a scanned beam system (8) are provided by sampling a calibration specimen (22) containing an array of targets with a spacing between samples that is greater than the spacing between targets in an array and forming an image from the samples to reduce calibration specimen degradation and to magnify calibration errors to enable very fine calibration of the scanned beam system (8).
(FR) L'invention concerne des procédés et un appareil destinés à étalonner un système à balayage de faisceau consistant à échantillonner un spécimen d'étalonnage contenant un réseau de cibles avec un espacement entre échantillons plus grand que l'espacement entre cibles du réseau et à former une image à partir des échantillons afin de réduire la dégradation du spécimen d'étalonnage et d'amplifier les erreurs d'étalonnage dans le but de permettre un étalonnage très fin du système à balayage de faisceau.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)