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1. (WO2003005124) A STAMP HAVING AN ANTISTICKING LAYER AND A METHOD OF FORMING OF REPAIRING SUCH A STAMP
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2003/005124    International Application No.:    PCT/SE2002/001334
Publication Date: 16.01.2003 International Filing Date: 04.07.2002
IPC:
B41C 3/06 (2006.01), B41M 1/04 (2006.01), B41M 1/06 (2006.01), G03F 7/00 (2006.01)
Applicants: OBDUCAT AKTIEBOLAG [SE/SE]; Box 580, S-201 25 Malmö (SE) (AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BJ, BR, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GW, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MC, MD, MG, MK, ML, MN, MR, MW, MX, MZ, NE, NL, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SN, SZ, TD, TG, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW only).
HEIDARI, Babak [SE/SE]; (SE) (For US Only).
LING, Torbjörn [SE/SE]; (SE) (For US Only)
Inventors: HEIDARI, Babak; (SE).
LING, Torbjörn; (SE)
Agent: AWAPATENT AB; Box 5117, S-200 71 Malmö (SE)
Priority Data:
0102411-6 05.07.2001 SE
Title (EN) A STAMP HAVING AN ANTISTICKING LAYER AND A METHOD OF FORMING OF REPAIRING SUCH A STAMP
(FR) POINÇON POURVU D'UNE COUCHE ANTI-ADHERENTE ET PROCEDE DE FABRICATION ET DE REPARATION DUDIT POINÇON
Abstract: front page image
(EN)A stamp for use in transferring a pattern in nano-scale has a monomolecular antisticking layer. The anti-sticking layer comprises molecular chains, which are covalently bound to the surface of the stamp and which each comprise at least one fluorine-containing group. Each molecular chain contains a group Q, which comprises a bond which is weaker than the other bonds in the molecular chain as well as the covalent bond that binds the molecular chain to the surface of the stamp. Splitting of said bond in the group Q creates a group Q1, which is attached to the part of the molecular chain being left on the surface of the stamp and which is capable of reacting with a fluorine-containing compound to restore the antisticking layer. In a method of manufacturing a stamp for use in transferring a pattern in nanoscale, the stamp is provided with the above-mentioned molecular chain. In a method of repairing a damaged antisticking layer of the above-mentioned stamp, the stamp is treated with a repairing reagent, which has a coupling end, which is capable of reacting with the group Q1, and a fluorine-containing group located at the other end of the repairing reagent.
(FR)L'invention concerne un poinçon à utiliser pour transférer un motif à échelle nanométrique et comprenant une couche anti-adhérente monomoléculaire. Cette couche anti-adhérente comprend des chaînes moléculaires, liées par covalence à la surface du poinçon et renfermant chacune au moins un groupe fluoré. Chaque chaîne moléculaire renferme un groupe Q, comprenant une liaison plus faible que les autres liaisons dans la chaîne moléculaire ainsi que la liaison par covalence liant la chaîne moléculaire à la surface du poinçon. La dissociation de cette liaison dans le groupe Q crée un groupe Q1, fixé à la partie de la chaîne moléculaire laissée sur la surface du poinçon et capable de réagir avec un composé fluoré pour reconstituer la couche anti-adhérente. Dans un procédé de fabrication d'un poinçon à utiliser pour transférer un motif à échelle nanométrique, ce poinçon présente la chaîne moléculaire susmentionnée. Dans un procédé de réparation d'une couche anti-adhérente endommagée du poinçon susmentionné, ce poinçon est traité à l'aide d'un réactif réparateur, présentant une extrémité de couplage, capable de réagir avec le groupe Q1 et un groupe fluoré situé à l'autre extrémité du réactif réparateur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: Swedish (SV)