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1. (WO2003003474) SILICON CARBIDE SCHOTTKY BARRIER DIODE AND METHOD OF MAKING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2003/003474 International Application No.: PCT/IB2002/002406
Publication Date: 09.01.2003 International Filing Date: 20.06.2002
IPC:
H01L 21/329 (2006.01) ,H01L 29/24 (2006.01) ,H01L 29/872 (2006.01)
Applicants: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.[NL/NL]; Groenewoudseweg 1 NL-5621 BA Eindhoven, NL
Inventors: ALOK, Dev; NL
Agent: SHARROCK, Daniel, J.; Internationaal Octrooibureau B.V. Prof. Holstlaan 6 NL-5656 AA Eindhoven, NL
Priority Data:
09/894,08428.06.2001US
Title (EN) SILICON CARBIDE SCHOTTKY BARRIER DIODE AND METHOD OF MAKING
(FR) DIODE A BARRIERE DE SCHOTTKY EN CARBURE DE SILICIUM ET PROCEDE DE PRODUCTION
Abstract: front page image
(EN) A Schottky barrier diode and process of making is disclosed. The process forms a metal contact pattern in masked areas on a silicon carbide wafer. A preferred embodiment includes on insulating layer that is etched in the windows of the mask. An inert edge termination is implanted into the wafer beneath the oxide layer and adjacent the metal contacts to improve reliability. A further oxide layer may be added to improve surface resistance to physical damage.
(FR) L'invention concerne une diode à barrière de Schottky et son procédé de production. Le procédé forme un motif de contact métallique dans des zones masquées situées sur une plaquette en carbure de silicium. Un mode de réalisation préféré est réalisé sur une couche isolante laquelle est gravée dans les fenêtres du masque. Une terminaison de bordure inerte est implantée dans la plaquette sous la couche d'oxyde et adjacente aux contacts métalliques afin d'améliorer la fiabilité. Une autre couche d'oxyde peut être ajoutée afin d'améliorer la résistance superficielle à la détérioration physique.
Designated States: CN, JP, KR
European Patent Office (EPO) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)