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1. (WO2003003132) TUNING CONTROL PARAMETERS FOR VIBRATION REDUCTION AND MOTION CONTROL
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2003/003132 International Application No.: PCT/US2002/018929
Publication Date: 09.01.2003 International Filing Date: 12.06.2002
IPC:
G05B 5/01 (2006.01) ,G05B 13/04 (2006.01) ,G05B 23/02 (2006.01)
Applicants: JACQUES, Robert, N.[US/US]; US (UsOnly)
CYMER, INC.[US/US]; 16750 Via del Campo Court San Diego, CA 92127-1712, US (AllExceptUS)
Inventors: JACQUES, Robert, N.; US
Agent: ROSS, John, R.; Cymer, Inc. Legal Department-MS/1-2A 16750 Via Del Campo Court San Diego, CA 92127-1712, US
Priority Data:
09/896,68929.06.2001US
Title (EN) TUNING CONTROL PARAMETERS FOR VIBRATION REDUCTION AND MOTION CONTROL
(FR) AJUSTEMENT DE PARAMETRES DE REGLAGE DESTINE A REDUIRE LES VIBRATIONS ET A MAITRISER LE MOUVEMENT
Abstract: front page image
(EN) The invention is directed to acquiring and processing parameters used to adjust and tune a controller (21) used, for example, to govern and compensate for motion, including vibrations and distrubances, in a physical system, such as a piece of manufacturing equipment (24). The invention may also be used to control, for example, a robot or other spatially dependent machine. Included in the invention are systems and methods for generating a controller (21), and for controlling motion in a physical system or apparatus.
(FR) La présente invention concerne l'acquisition et le traitement de paramètres permettant d'ajuster et régler un contrôleur (21) utilisé, par exemple, pour régir et compenser les mouvements, y compris les vibrations et les perturbations, d'un système physique tel qu'une pièce d'équipement de fabrication (24). L'invention peut également être utilisée pour commander, par exemple, un robot ou une autre machine spatialement dépendante. L'invention se rapporte également à des systèmes et des procédés permettant de produire un contrôleur (21) et de régler les mouvements dans un système physique ou un appareil.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)