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1. (WO2003003098) DEVICE FOR FLAT ILLUMINATION OF AN OBJECT FIELD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2003/003098    International Application No.:    PCT/EP2002/007039
Publication Date: 09.01.2003 International Filing Date: 26.06.2002
IPC:
G02B 21/06 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena (DE) (For All Designated States Except US).
ENGEL, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HARNISCH, Wolfgang [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HEISE, Jürgen [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: ENGEL, Thomas; (DE).
HARNISCH, Wolfgang; (DE).
HEISE, Jürgen; (DE)
Priority Data:
101 30 821.3 26.06.2001 DE
Title (DE) EINRICHTUNG ZUR FLÄCHIGEN BELEUCHTUNG EINES OBJEKTFELDES
(EN) DEVICE FOR FLAT ILLUMINATION OF AN OBJECT FIELD
(FR) DISPOSITIF D'ECLAIRAGE PLAT D'UN CHAMP D'OBJET
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur flächigen Ausleuchtung eines Objektfeldes bei einem optischen Gerät sowie auf ein optisches Gerät mit einer solchen Einrichtung. Optische Geräte dieser Art sind beispielsweise Mikroskope, darunter Mikrolithographie-Simulationsmikroskope, bei denen eine flächige, d. h. über einen singulären Objektpunkt hinausgehend ausgedehnte Beleuchtung des zu untersuchenden Objektes benötigt wird. Die Einrichtung umfaßt eine Laserlichtquelle (8) und ein Lichtleitkabel (9) mit wenigstens einer optischen Faser, durch die das Licht von der Laserlichtquelle (8) zum Objektfeld geleitet wird, wobei die optische Faser so ausgebildet und bemessen ist, daß sich die Intensität des Beleuchtungslichtes innerhalb des Querschnittes der optischen Faser auf dem Weg vom einstrahlseitigen zum abstrahlseitigen Ende zunehmend vergleichmäßigt und das Beleuchtungslicht vom abstrahlseitigen Ende der optischen Faser mit im wesentlichen homogener Intensitätsverteilung auf das Objekt (O) gerichtet ist.
(EN)The invention relates to a device for flat illumination of an object field in an optical apparatus and to an optical apparatus having said device, said optical apparatus being, for example, microscopes, including microlithography simulation microscopes, wherein a flat illumination, i.e. extending over a singular object point, of the object to be examined is required. The device comprises a laser light source (8) and a fiber optic cable (9) having at least one optic fiber through which the light is guided from the laser light source (8) to the object field. The optic fiber is configured and designed in such a way that the intensity of the illumination light is increasingly homogenized in the cross section of the optical fiber during its course from the end on the incidence side to the end on the radiation side and the illumination light from the end on the radiation side of optical fiber is directed to the object (O) with substantially homogenous intensity distribution.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'éclairage plat d'un champ d'objet sur un appareil optique ainsi qu'un appareil optique équipé dudit dispositif. Parmi des appareils optiques de ce type figurent des microscopes, dont des microscopes avec simulation pour microlithogravure, dans lesquels un éclairage plat de l'objet à examiner, c.-à-d. étendu au-delà d'un point d'objet singulier, est nécessaire. Ce dispositif comprend une source de lumière laser (8) et un câble à fibres optiques (9), présentant au moins une fibre optique par laquelle la lumière est conduite depuis la source de lumière laser (8) vers le champ d'objet. Selon la présente invention, cette fibre optique est conçue et mesurée, de sorte que l'intensité de la lumière d'éclairage à l'intérieur de la section de la fibre optique s'homogénéise de manière croissante sur le chemin allant de l'extrémité côté incidence à l'extrémité côté rayonnement, et la lumière d'éclairage provenant de l'extrémité côté rayonnement de la fibre optique est dirigée sur l'objet (O) avec une répartition d'intensité sensiblement homogène.
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)