(EN) A plasma treatment device (1) of parallel flat plate type, wherein a baffle plate (24) for enclosing plasma in a plasma generating area above a chamber is formed of a plurality of plate members (25) stuck on each other, the plate members (25) are bent in a specified pattern, and, for example, hexagonal holes (24a) are formed between the plate members (25) adjacent to each other, whereby the baffle plate (24) can have a large number of honeycomb-shaped holes (24a) on the entire area thereof.
(FR) L'invention concerne un dispositif de traitement au plasma (1) de type plaque plate parallèle, un déflecteur (24) destiné à contenir du plasma dans une zone de création de plasma située au-dessus d'une chambre étant formé d'une pluralité d'éléments de plaque (25) empilés les uns sur les autres. Ces éléments de plaque (25) sont courbés selon un modèle spécifique et, par exemple, des trous hexagonaux (24a) sont formés entre les éléments de plaque (25) se jouxtant. Le déflecteur (24) peut comporter un grand nombre de trous (24a) à structure alvéolaire sur l'intégralité de sa surface.