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1. (WO2002033733) SYSTEM AND METHOD FOR AUTOMATED MONITORING AND ASSESSMENT OF FABRICATION FACILITY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2002/033733    International Application No.:    PCT/US2001/032504
Publication Date: 25.04.2002 International Filing Date: 17.10.2001
Chapter 2 Demand Filed:    19.04.2002    
IPC:
H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: BROOKS AUTOMATION, INC. [US/US]; 15 Elizabeth Drive Chelmsford, MA 01824 (US)
Inventors: SCHULZE, Bradley, D.; (US)
Agent: GREEN, Clarence, A.; Perman & Green, LLP 425 Post Road Fairfield, CT 06430 (US)
Priority Data:
60/241,343 17.10.2000 US
09/978,500 16.10.2001 US
Title (EN) SYSTEM AND METHOD FOR AUTOMATED MONITORING AND ASSESSMENT OF FABRICATION FACILITY
(FR) SYSTEME ET PROCEDE POUR DE CONTROLE ET L'EVALUATION AUTOMATIQUES D'UNE UNITE DE FABRICATION
Abstract: front page image
(EN)A method for monitoring and assessing operation of a semiconductor fabrication facility (800) comprises the steps of connecting a monitoring and assessment system (107) to a system bus (105) which is connected directly or indirectly to a manufacturing execution system (102) and a plurality of semiconductor fabrication tools. Through a user interface (820), the state models (815) can be configured for the semiconductor fabrication tools where each state model (815) is based upon a set of definned triggers (805) for each tool. During monitoring, various messages (803, 804) are transmitted on the system bus (105) between the semiconductor fabrication tools and the manufacturing execution system (102) and the monitoring and assessment system (107), and appropriate triggers are generated based upon the messages (803, 804) where the triggers are selected from a set of defined triggers (805). During operation, the state models (815) are updated for each tool affected by one of the triggers and transitions within the state models (815) are recorded in a tracking database (830).
(FR)La présente invention concerne un procédé de contrôle et d'évaluation du fonctionnement d'une unité de fabrication de semi-conducteurs comportant des étapes de connexion d'un système de contrôle et d'évaluation à un système à bus qui est relié directement ou indirectement à un système d'exécution de fabrication et une pluralité d'outils de fabrication de semi-conducteurs. Par l'intermédiaire d'une interface d'utilisateur, les modèles à états peuvent être configurés pour les outils de fabrication de semi-conducteurs où chaque modèle est basé sur un ensemble de déclencheurs déterminés pour chaque outil. Lors du contrôle différents messages sont transmis sur le système à bus entre les outils de fabrication de semi-conducteurs et le système d'exécution et le système de contrôle et d'évaluation, et les déclencheurs appropriés sont générés sur la base des messages où les déclencheurs sont sélectionnés à partir d'un ensemble de déclencheurs déterminés. Lors de l'opération, les modèles à états sont mis à jour pour chaque outil attribué par un des déclencheurs et les transitions au sein des modèles à états sont enregistrés dans une base de données de suivi.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)