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1. (WO2002033144) MANIFOLD FOR GAS SUPPLY SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2002/033144    International Application No.:    PCT/US2001/024609
Publication Date: 25.04.2002 International Filing Date: 06.08.2001
Chapter 2 Demand Filed:    26.02.2002    
IPC:
C23C 16/44 (2006.01), F16K 27/00 (2006.01)
Applicants: MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; Six Shattuck Road, Andover, MA 01810 (US)
Inventors: GROSSHART, Paul, Francis; (US)
Agent: KUSMER, Toby, H.; McDermott, Will & Emery, 28 State Street, Boston, MA 02109 (US)
Priority Data:
09/687,572 13.10.2000 US
Title (EN) MANIFOLD FOR GAS SUPPLY SYSTEM
(FR) RAMPE POUR SYSTEME D'ALIMENTATION EN GAZ
Abstract: front page image
(EN)A gas manifold (100) for a modular box system for delivering contaminant-free, precisely metered quantities of process and purge gases to a semiconductor process reaction chamber. The manifold provides the benefit of allowing the use of standard annular gaskets or o-rings for providing seals between the manifold and gas components, such as filters, valves, and pressure transducers and regulators, mounted on the manifold. The manifold includes a surface (106), a manifold port (108) in the surface, and at least one station (112) in the surface for receiving gas controlling and gas monitoring components. The station includes an inwardly facing side wall (118) extending into the manifold from the surface to a base (120) of the station. The base is divided into a central portion (122) and an outer portion (124), the central portion having a first station port (126), and one of the outer portion of the base and the side wall having a second station port (128). An internal gas passageway of the manifold connects the manifold port (108) to one of the first and second station ports (126, 128).
(FR)L'invention concerne une rampe d'alimentation en gaz (100) destinée à un système de boîte modulaire de distribution de quantités de gaz utilisés et de purge à une chambre de réaction de traitement de semi-conducteurs, lesdites quantités étant mesurées avec précision et exemptes de contaminants. La rampe présente l'avantage de permettre l'utilisation de joints statiques annulaires types ou de joints toriques de manière à engendrer des joints d'étanchéité entre la rampe et les composants pour gaz, tels que des filtres, des soupapes, des capteurs et régulateurs de pression montés à la rampe. Celle-ci comporte une surface (106), un orifice de rampe (108) dans cette surface, et au moins une station (112) dans la surface servant à recevoir des composants de surveillance et de régulation de gaz. Cette station comprend une paroi latérale interne (118) s'étendant dans la rampe de la surface à une base (120) de la station. La base est divisée en une partie centrale (122) et une partie externe (124), ladite partie centrale présentant un premier orifice de station (126) et la partie externe de la base ou de la paroi latérale présentant un second orifice de station (128). Une voie de passage du gaz interne de la rampe relie l'orifice de la rampe (108) à un orifice de la première ou de la seconde station (126, 128).
Designated States: DE, GB, JP, KR.
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)