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1. (WO2002031570) METHOD OF EVALUATING IMAGING PERFORMANCE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2002/031570    International Application No.:    PCT/JP2001/008852
Publication Date: 18.04.2002 International Filing Date: 09.10.2001
Chapter 2 Demand Filed:    12.04.2002    
IPC:
G02B 7/36 (2006.01), G02B 27/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-Chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 (JP) (For All Designated States Except US).
OZAWA, Toshihiko [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: OZAWA, Toshihiko; (JP)
Agent: FURUYA, Fumio; Dai2 Meiho Bldg., 9th Floor 19-5, Nishishinjuku 1-Chome Shinjuku-ku, Tokyo 160-0023 (JP)
Priority Data:
2000-309475 10.10.2000 JP
2001-32119 08.02.2001 JP
Title (EN) METHOD OF EVALUATING IMAGING PERFORMANCE
(FR) PROCEDE D'EVALUATION DE LA QUALITE D'IMAGES
Abstract: front page image
(EN)A method of evaluating an imaging performance by accurately reflecting an effect by a thin film, wherein, in evaluating the imaging performance of an imaging optical system, a pupil transmittance distribution (distribution of optical transmittance on an output pupil plane) of an imaging flux incident on the evaluation object image point in the imaging optical system is obtained, and at least one component out of a rotational symmetry component, an odd-number symmetry component, and an even-number symmetry component of the pupil transmittance distribution is extracted as an evaluation index from the obtained pupil transmittance distribution.
(FR)L'invention concerne un procédé d'évaluation de la qualité d'images par réflexion précise d'un effet induit par une couche mince. En évaluant la qualité d'images d'un système optique d'imagerie, on obtient une distribution de transmittance de la pupille (distribution de transmittance optique sur un plan pupillaire de sortie) d'un flux d'imagerie incident sur le point d'image de l'objet d'évaluation dans le système optique d'imagerie; et au moins une composante d'un élément de symétrie rotatif, d'un élément de symétrie à nombre impair, et d'un élément de symétrie à nombre pair de la distribution de transmittance pupillaire, est extraite en tant qu'indice d'évaluation de la distribution de transmittance pupillaire obtenue.
Designated States: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)