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1. (WO2002031216) APPARATUS FOR CONTINUOUS SPUTTER-DEPOSITION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2002/031216    International Application No.:    PCT/US2001/031597
Publication Date: 18.04.2002 International Filing Date: 11.10.2001
Chapter 2 Demand Filed:    09.05.2002    
IPC:
C03C 17/00 (2006.01), C03C 17/36 (2006.01), C23C 14/56 (2006.01)
Applicants: CENTRE LUXEMBOURGEOIS DE RECHERCHES POUR LE VERRE ET LA CERAMIQUE S.A. (C.R.V.C.) [LU/LU]; Zone Industrielle Wolser Grand Duchy L-3452 Dudelange (LU)
Inventors: LEMMER, Jean-Marc; (LU).
SCHLOREMBERG, Marcel; (BE)
Agent: RHOA, Joseph, A.; Nixon & Vanderhye P.C. Suite 800 1100 North Glebe Road Arlington, VA 22201-4714 (US)
Priority Data:
09/685,568 11.10.2000 US
09/731,055 07.12.2000 US
Title (EN) APPARATUS FOR CONTINUOUS SPUTTER-DEPOSITION
(FR) PROCEDE ET APPAREIL PERMETTANT DE REALISER UNE PULVERISATION CATHODIQUE SUR DU VERRE
Abstract: front page image
(EN)A sputter coating apparatus includes at least a first sputter coating line (58) and a second sputter coating line (59). The first and second sputter coating lines may be operated in parallel with one another in certain embodiments in order to independently form coating systems and respective coated articles. However, the two coating lines may also be utilized so as to operate in series with one another to form a coated article. In the latter case, a transition zone (60) is provided between an end of the first line and an end of the second line so as to selectively couple an output of the first line to an input of the second line when it is desired to utilize the two sputter coating lines in series with one another. In such a manner, it is possible to avoid many of the inefficiencies associated with conventional sputter coating apparatuses and processes.
(FR)L'invention concerne un appareil de pulvérisation cathodique comprenant au moins une première ligne de pulvérisation cathodique et une seconde ligne de pulvérisation cathodique. Dans certains modes de réalisation, on peut activer ces lignes de pulvérisation cathodique en parallèle de manière à former indépendamment des systèmes de revêtement et des articles revêtus respectifs. Or, on peut également activer ces lignes de pulvérisation en série pour former un article revêtu. Lorsqu'on souhaite utiliser les deux lignes de pulvérisation cathodique en série, on crée une zone de transition entre une extrémité de la première ligne et une extrémité de la seconde ligne de manière à coupler sélectivement une sortie de la première ligne avec une entrée de la seconde ligne, d'où la possibilité de supprimer la plupart des problèmes associés aux procédés et aux appareils classiques de pulvérisation cathodique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)