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1. (WO2002029868) ELECTRON BEAM EXPOSURE SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2002/029868    International Application No.:    PCT/JP2001/008667
Publication Date: 11.04.2002 International Filing Date: 02.10.2001
Chapter 2 Demand Filed:    18.04.2002    
IPC:
H01J 37/317 (2006.01)
Applicants: ADVANTEST CORPORATION [JP/JP]; 1-32-1, Asahi-cho Nerima-ku, Tokyo 179-0071 (JP) (For All Designated States Except US).
HAMAGUCHI, Shinichi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MANABE, Keiji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
YASUDA, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: HAMAGUCHI, Shinichi; (JP).
MANABE, Keiji; (JP).
YASUDA, Hiroshi; (JP)
Agent: RYUKA, Akihiro; 6F Toshin Building 24-12, Shinjuku 1-chome Shinjuku-ku, Tokyo 160-0022 (JP)
Priority Data:
2000-342658 03.10.2000 JP
2001-019007 26.01.2001 JP
Title (EN) ELECTRON BEAM EXPOSURE SYSTEM
(FR) SYSTEME D'EXPOSITION A FAISCEAUX ELECTRONIQUES
Abstract: front page image
(EN)An electron beam exposure system (100) comprising an electron gun (10) for generating a plurality of electron beams, a multi-axis electronic lens (62) for converging the plurality of electron beams independently, a deflecting unit (60) for deflecting the plurality of electron beams independently, and a wafer stage (46) having a differential pumping type air bearing structure.
(FR)La présente invention concerne un système (100) d'exposition à faisceaux électroniques qui comprend un canon à électrons (10) destiné à générer une pluralité de faisceaux électroniques, une lentille (62) électronique multi-axe destinée à faire converger indépendamment la pluralité de faisceaux électroniques, une unité (60) de déviation destinée à dévier indépendamment la pluralité des faisceaux électroniques, et un étage (46) de plaquette qui possède une structure porteuse d'air de type pompage différentiel.
Designated States: KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)