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1. (WO2002029828) METHOD AND DEVICE FOR INFLUENCING X-RADIATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2002/029828    International Application No.:    PCT/CH2001/000578
Publication Date: 11.04.2002 International Filing Date: 26.09.2001
IPC:
G21K 1/06 (2006.01)
Applicants: PAUL SCHERRER INSTITUT [CH/CH]; CH-5232 Villigen PSI (CH) (For All Designated States Except US).
DAVID, Christian [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: DAVID, Christian; (DE)
Agent: FREI PATENTANWALTSBÜRO; Postfach 768, CH-8029 Zürich (CH)
Priority Data:
1926/00 02.10.2000 CH
Title (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BEEINFLUSSUNG VON RÖNTGENSTRAHLUNG
(EN) METHOD AND DEVICE FOR INFLUENCING X-RADIATION
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF PERMETTANT D'AGIR SUR DES RAYONS X
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf Anordnungen, bei denen Röntgenstrahlung mit einer mittleren Propagationsrichtung (245) auf einen Diffraktionskörper (201) gelenkt wird, welcher eine Oberfläche besitzt, die eine mittlere Oberflächenebene definiert und mit Strukturen (205) versehen ist. Dabei sind die Strukturen (205) bezüglich einer Translationsrichtung (241) im Wesentlichen translationssymmetrisch. Die Erfindung zeichnet sich nun dadurch aus, dass die Röntgenstrahlung so auf den Diffraktionskörper (201) gelenkt wird, dass die Oberflächennormale (243) dieser Oberflächenebene um eine zu der Translationsrichtung (241) und zu der mittleren Propagationsrichtung (245) senkrechte Achse (247) gegen die mittlere Propagationsrichtung (245) um einen Winkel $g(F) verkippt ist. Dadurch erhöht sich die effektive Höhe der Strukturen um 1/cos($g(F)).
(EN)The invention relates to systems in which X-radiation is directed with an average propagation direction (245) onto a diffractive element (201) which has a surface that defines an average surface plane and that is provided with structures (205). Said structures (205) are substantially translation-symmetrical with respect to a direction of translation (241). The invention is further characterized in that the X-radiation is directed onto the diffractive element (201) in such a way that the surface normal (243) of said surface plane is tilted about an axis (247) that is perpendicular to the direction of translation (241) and to the average propagation direction (245) by an angle $g(F) against the average propagation direction, thereby increasing the effective height of said structure by 1/cos($g(F)).
(FR)La présente invention concerne des dispositifs grâce auxquels les rayons X sont déviés sur un corps de diffraction (201) au moyen d'un dispositif de propagation moyen (245), ledit corps de diffraction présentant une surface qui définit un plan de surface moyen et comprend des structures (205). Les structures (205) sont sensiblement symétriques par translation vis-à-vis de la direction de translation (241). L'invention se caractérise en ce que les rayons X sont déviés sur le corps de diffraction (201) de sorte que la normale à la surface (243) de ce plan de surface est inclinée autour d'un axe (247) perpendiculaire à la direction de translation (241) et à la direction de propagation moyenne (245), d'un angle de $g(F) par rapport à la direction de propagation (245). Cela permet une augmentation de 1/cos($g(F)) de la hauteur réelle des structures.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)