WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2002029421) METHOD AND DEVICE FOR ELECTRICAL ZERO BALANCING FOR A MICROMECHANICAL COMPONENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2002/029421    International Application No.:    PCT/DE2001/002066
Publication Date: 11.04.2002 International Filing Date: 01.06.2001
Chapter 2 Demand Filed:    09.11.2001    
IPC:
G01C 19/56 (2012.01), G01P 15/125 (2006.01), G01P 21/00 (2006.01)
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20, 70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
TANTEN, Leo [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FRANZ, Jochen [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHOEFTHALER, Martin [DE/DE]; (DE) (For US Only).
ROHR, Marius [DE/DE]; (DE) (For US Only).
EMMERICH, Harald [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HAUTE, Matthias [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WALKER, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: TANTEN, Leo; (DE).
FRANZ, Jochen; (DE).
SCHOEFTHALER, Martin; (DE).
ROHR, Marius; (DE).
EMMERICH, Harald; (DE).
HAUTE, Matthias; (DE).
WALKER, Thomas; (DE)
Priority Data:
100 49 462.5 06.10.2000 DE
Title (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ELEKTRISCHEN NULLPUNKTABGLEICH FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT
(EN) METHOD AND DEVICE FOR ELECTRICAL ZERO BALANCING FOR A MICROMECHANICAL COMPONENT
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE REGLAGE ELECTRIQUE DU ZERO POUR UN COMPOSANT MICROMECANIQUE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung schafft ein Verfahren zum elektrischen Nullpunktabgleich für ein mikromechanisches Bauelement mit einer ersten über einem Substrat (SU) fest aufgehängten Kondensatorelektrode (F1), einer zweiten über dem Substrat (SU) fest aufgehängten Kondensatorelektrode (F2) und einer dritten dazwischen angeordneten über dem Substrat (SU) federnd auslenkbar aufgehängten Kondensatorelektrode (B), und einer Differenzkapazitäts-Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Differenzkapazität der Kapazitäten (C1, C1'; C2, C2') der derart gebildeten veränderlichen Kondensatoren (F1, B; B, F2). Es erfolgen dabei ein Anlegen eines ersten elektrischen Potentials (V¿F1?) an die erste Kondensatorelektrode (F1); ein Anlegen eines zweiten elektrischen Potentials (V¿F2?) an die zweite Kondensatorelektrode (F2); ein Anlegen eines dritten elektrischen Potentials (V¿B?) an die dritte Kondensatorelektrode (B); und ein Anlegen eines vierten elektrischen Potentials (V¿S?) an das Substrat (SU). Das an das Substrat (SU) angelegte vierte elektrische Potential (V¿S?) wird zum elektrischen Nullpunktabgleich für den Betrieb der Differenzkapazitäts-Erfassungseinrichtung verändert.
(EN)The invention relates to a method for electrical zero balancing for a micromechanical component comprising a first capacitor electrode (F1) which is suspended above a substrate (SU) in a fixed manner, a second capacitor electrode (F2) which is suspended above the substrate (SU) in a fixed manner, a third capacitor electrode (B) which is located between said two capacitor electrodes and which is suspended above the substrate (SU) in an elastically displaceable manner, and a differential capacitance detection device for detecting the differential capacitance between the capacitances (C1, C1'; C2, C2') of the variable capacitors (F1, B; B, F2) thus formed. A first electrical potential (V¿F1?) is applied to the first capacitor electrode (F1); a second electrical potential (V¿F2?) is applied to the second capacitor electrode (F2); a third electrical potential (V¿B?) is applied to the third capacitor electrode (B) and a fourth electrical potential (V¿S?) is applied to the substrate (SU). The fourth electrical potential (V¿S?) that is applied to the substrate (SU) is adjusted in order to balance the electrical zero for the operation of the differential capacitance detecting device.
(FR)L'invention concerne un procédé de réglage électrique du zéro pour un composant micromécanique comprenant une première électrode de condensateur (F1) solidement fixée à un substrat (SU), une deuxième électrode de condensateur (F2) solidement fixée à un substrat (SU), une troisième électrode de condensateur (B) agencée entre les deux premières et fixée au substrat (SU) de manière flexible et élastique, et un dispositif de détection de capacité différentielle conçu pour détecter une capacité différentielle des capacités (C1, C1'; C2, C2') des condensateurs variables formés (F1, B; B, F2). Ensuite, un premier potentiel électrique (V¿F1?) est déposé sur la première électrode de condensateur (F1), un deuxième potentiel électrique (V¿F2?) sur la deuxième électrode de condensateur (F2), un troisième potentiel électrique (V¿B?) sur la troisième électrode de condensateur (B) et un quatrième potentiel électrique (V¿S?) sur le substrat (SU). Le quatrième potentiel électrique (V¿S?) déposé sur le substrat (SU) est modifié jusqu'au réglage électrique du zéro pour le fonctionnement du dispositif de détection de capacité différentielle.
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)