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1. (WO2002029308) GAS LASER CHAMBER WITH VERTICAL VIBRATION ISOLATOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2002/029308    International Application No.:    PCT/US2001/026377
Publication Date: 11.04.2002 International Filing Date: 24.08.2001
Chapter 2 Demand Filed:    17.04.2002    
IPC:
H01S 3/02 (2006.01), H01S 3/03 (2006.01)
Applicants: CYMER, INC. [US/US]; 16750 Via Del Campo Court, San Diego, CA 92127-1712 (US) (For All Designated States Except US).
OLIVER, I., Roger [GB/US]; (US) (For US Only).
IVASCHENKO, Alex, P. [UA/US]; (US) (For US Only).
PARTLO, William, N. [US/US]; (US) (For US Only).
DAS, Palash, P. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: OLIVER, I., Roger; (US).
IVASCHENKO, Alex, P.; (US).
PARTLO, William, N.; (US).
DAS, Palash, P.; (US)
Agent: ROSS, John, R.; Cymer, Inc., Legal Department - MS/1-2A, 16750 Via Del Campo Court, San Diego, CA 92127-1712 (US)
Priority Data:
09/675,492 29.09.2000 US
Title (EN) GAS LASER CHAMBER WITH VERTICAL VIBRATION ISOLATOR
(FR) CHAMBRE A LASER A GAZ POURVUE D'UN ISOLATEUR CONTRE LES VIBRATIONS VERTICALES
Abstract: front page image
(EN)A chamber/optics support structure (150) for a laser chamber (156) with a vibration source. The chamber and the laser resonance cavity optical elements are supported on a platform. The chamber is supported by a plurality of wheels (1,2,3) which in turn rests on two tracks (158,162). A vertical vibration isolator (182) isolates vertical vibrations originating in the chamber for the laser optics. Flexible clamps (166,168) clamp the chamber in a horizontal position to align it with the resonance cavity optical elements. In a preferred embodiment the plurality of wheels are three, two of which rests in a V-groove track (158) and one which rests on a flat track (162). This embodiment uses two flexible clamps (166,168) each having an adjustment bolt (185) four spaced silicon rubber vibration isolators (182).
(FR)L'invention concerne une structure (150) de support de chambre pour une chambre à laser (156) pourvue d'une source de vibrations. La chambre et les éléments optiques de la cavité de résonance laser sont maintenus sur une plate-forme. La chambre est retenue par une multitude de roues (1,2,3) lesquelles, à leur tour, reposent sur deux rails (158,162). Un isolateur (182) contre les vibrations verticales isole les optiques du laser contre les vibrations verticales provenant de l'intérieur de la chambre. Des attaches souples (166,168) bloquent la chambre dans une position horizontale de manière à l'aligner avec les éléments optiques de la cavité de résonance. Dans un mode de réalisation souhaitable, les roues sont au nombre de trois, dont deux reposent dans un rail (158) à rainure en V, et un repose sur un rail plat (162). Ce mode de réalisation utilise deux attaches souples (166,168) présentant chacune un boulon de réglage (185), et quatre antivibrateurs (182) en caoutchouc de silicone espacés.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)