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1. (WO2002027310) METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING AND CONTROLLING THE WATER CONTENT OF A WATER CONTAINING LIQUID MIXTURE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2002/027310    International Application No.:    PCT/EP2001/010188
Publication Date: 04.04.2002 International Filing Date: 04.09.2001
Chapter 2 Demand Filed:    16.04.2002    
IPC:
G01N 25/14 (2006.01), G01N 25/56 (2006.01), H01L 21/311 (2006.01)
Applicants: INFINEON TECHNOLOGIES SC300 GMBH & CO. KG [DE/DE]; Königsbrücker Strasse 180 01099 Dresden (DE) (For All Designated States Except US).
OTTOW, Stefan [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WELZEL, Martin [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WISSEL, Dan [US/US]; (US) (For US Only).
INFINEON TECHNOLOGIES AG [DE/DE]; St.-Martin-Strasse 53 81669 München (DE) (For All Designated States Except US).
MOTOROLA INC. [US/US]; 1303 East Algonquin Road Schaumburg, IL 60196 (US) (For All Designated States Except US)
Inventors: OTTOW, Stefan; (DE).
WELZEL, Martin; (DE).
WISSEL, Dan; (US)
Agent: EPPING HERMANN & FISCHER; Ridlerstrasse 55 80339 Munich (DE)
Priority Data:
00121486.5 29.09.2000 EP
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING AND CONTROLLING THE WATER CONTENT OF A WATER CONTAINING LIQUID MIXTURE
(FR) PROCEDE ET APPAREIL POUR MESURER ET REGULER LA TENEUR EN EAU D'UN MELANGE LIQUIDE CONTENANT DE L'EAU
Abstract: front page image
(EN)An apparatus for measuring the water content of a water containing liquid mixture (2) contained in a tight chemistry tank (1) comprises a heating device for controlling the temperature of said liquid mixture to a temperature near the boiling point of said liquid mixture, a cooling medium system (4), disposed at the top of the tight chemistry tank (1), having a cooling medium inlet (5) and a cooling medium outlet (6), a temperature measurement system (7) for determining the temperature difference between cooling medium inlet (5) and cooling medium outlet (6), and a computing device (8) for calculating the water content of said liquid mixture (2) from said temperature difference. An apparatus for controlling the water content of a water containing liquid mixture (2) comprises the apparatus for measuring the water content of a water containing liquid mixture as defined above, a tank (10) for supplying water to said liquid mixture, and a control system (9) for adjusting the amount of water supplied from said tank (10) on the basis of the water content measured by said apparatus for measuring the water content.
(FR)L'invention concerne un appareil conçu pour mesurer la teneur en eau d'un mélange liquide contenant de l'eau (2) stocké dans une cuve de chimie étanche (1), comportant un dispositif de chauffage servant à régler la température dudit mélange liquide à une température proche du point d'ébullition dudit mélange liquide, un système de milieu réfrigérant (4), disposé au sommet de la cuve de chimie étanche (1), possédant un orifice d'entrée (5) pour milieu réfrigérant et un orifice de sortie (6) pour milieu réfrigérant, un système de mesure de la température (7) pour déterminer la différence de température entre l'orifice d'entrée (5) pour milieu réfrigérant et l'orifice de sortie (6) pour milieu réfrigérant, ainsi qu'un dispositif de calcul (8) pour calculer la teneur en eau dudit mélange liquide (2) à partir de ladite différence de température. L'invention concerne également un appareil de régulation de la teneur en eau d'un mélange liquide contenant de l'eau (2) comportant l'appareil destiné à mesurer la teneur en eau d'un mélange liquide contenant de l'eau comme décrit ci-dessus, une cuve (10) pour alimenter en eau ledit mélange, et un système de régulation (9) pour régler la quantité d'eau acheminée depuis ladite cuve (10) sur la base de la teneur en eau mesurée par ledit appareil conçu pour mesurer la teneur en eau.
Designated States: JP, KR, SG, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)