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1. (WO2002027189) COMPOUND FRICTION VACUUM PUMP
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2002/027189    International Application No.:    PCT/EP2001/009194
Publication Date: 04.04.2002 International Filing Date: 09.08.2001
Chapter 2 Demand Filed:    13.03.2002    
IPC:
F04D 19/04 (2006.01), F04D 29/54 (2006.01)
Applicants: LEYBOLD VAKUUM GMBH [DE/DE]; Bonner Strasse 498 50968 Köln (DE) (For All Designated States Except US).
BLUMENTHAL, Roland [DE/CH]; (CH) (For US Only).
HUNDERTMARK, Stefan [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: BLUMENTHAL, Roland; (CH).
HUNDERTMARK, Stefan; (DE)
Agent: LEINEWEBER, Jürgen; Aggerstrasse 24 50859 Köln (DE)
Priority Data:
100 46 766.0 21.09.2000 DE
Title (DE) COMPOUND-REIBUNGSVAKUUMPUMPE
(EN) COMPOUND FRICTION VACUUM PUMP
(FR) POMPE A VIDE A FRICTION COMPOSEE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Reibungsvakuumpumpe (1) mit mindestens einer Turbomolekularpumpenstufe, mit einer sich daran druckseitig anschließenden Molekularpumpenstufe sowie einer zwischen der Turbomolekularpumpenstufe und der Molekularpumpenstufe befindlichen Übergangsstufe; um den Übergang vom Turbomolekularbereich zum Molekularbereich zu verbessern, wird vorgeschlagen, dass die Übergangsstufe einen sich in tangentialer Richtung kontinuierlich verjüngenden Durchströmungsquerschnitt besitzt.
(EN)The invention relates to a friction vacuum pump (1) comprising at least one turbomolecular pump stage, with a molecular pump stage that is subsequently connected on the pressure side, and with a transition stage mounted between the turbomolecular pump stage and the molecular pump stage. In order to improve the transition from the turbomolecular zone to the molecular zone, the transition stage has a flow section that is continuously tapered in the tangential direction.
(FR)La présente invention concerne une pompe à vide à friction (1) comprenant au moins un étage de pompe turbomoléculaire, un étage de pompe moléculaire, connecté à l'étage de pompe turbomoléculaire côté pression, ainsi qu'un étage intermédiaire se trouvant entre l'étage de pompe turbomoléculaire et l'étage de pompe moléculaire. Afin d'améliorer le passage de la zone turbomoléculaire à la zone moléculaire, l'étage intermédiaire présente une section transversale de passage qui diminue de manière continue dans la direction tangentielle.
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)