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1. WO2002018875 - ANGULAR VELOCITY SENSOR

Publication Number WO/2002/018875
Publication Date 07.03.2002
International Application No. PCT/JP2001/007269
International Filing Date 24.08.2001
IPC
G01C 19/56 2012.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
CPC
G01C 19/5607
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5607using vibrating tuning forks
Applicants
  • MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • HATANAKA, Masakazu [JP]/[JP] (UsOnly)
  • OUCHI, Satoshi [JP]/[JP] (UsOnly)
  • NOZOE, Toshiyuki [JP]/[JP] (UsOnly)
  • KAWASAKI, Shusaku [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventors
  • HATANAKA, Masakazu
  • OUCHI, Satoshi
  • NOZOE, Toshiyuki
  • KAWASAKI, Shusaku
Agents
  • IWAHASHI, Fumio
Priority Data
2000-26041930.08.2000JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) ANGULAR VELOCITY SENSOR
(FR) CAPTEUR DE VITESSE ANGULAIRE
Abstract
(EN)
An angular velocity sensor enhanced in detection characteristics by using a tuning fork vibrator consisting of a single-crystal piezoelectric material such as quartz. The sensor comprises two sheets of crystal oscillators (20, 30) directly joined for integration in a thickness direction so as to be oriented in a crystal-axis direction that generates mutually-reversed-polarity piezoelectric phenomena in their width direction, and includes a tuning fork vibrator (10) having two tuning fork arms (10a, 10b) and a tuning fork base (10c), wherein detecting electrodes (6, 7, 5, 8) are provided on the inner surfaces and the outer surfaces of both of the tuning fork arms (10a, 10b), and driving electrodes (1, 2) used for the detecting electrodes (5, 6, 7, 8) are provided at the tuning fork arms (10a, 10b) so as to cancel out capacitive coupling from the drive side to the detection side.
(FR)
L'invention concerne un capteur de vitesse dont les caractéristiques de détection ont été améliorées à l'aide d'un vibrateur à diapason comportant un matériau piézo-électrique monocristallin tel que le quartz. Ce détecteur comprend deux couches d'oscillateurs à cristal (20, 30) directement réunies pour être intégrées dans le sens de la largeur suivant le sens de l'axe du cristal qui provoque l'apparition d'un phénomène piézo-électrique à polarité mutuellement inversée dans le sens de la largeur, et comprend également un vibrateur à diapason (10) présentant deux branches de diapason (10a, 10b) et une base de diapason (10c). Des électrodes de détection (6, 7, 5, 8) sont placées sur les surfaces intérieures et extérieures des deux branches de diapason (10a, 10b), des électrodes d'entraînement (1, 2) prévues pour les électrodes de détection (5, 6, 7, 8) étant placées sur les branches de diapason (10a, 10b) pour compenser le couplage capacitif du côté d'entraînement au côté de détection.
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