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1. (WO2002007236) DISPLACEMENT DETECTOR AND PROCESSING SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2002/007236    International Application No.:    PCT/JP2001/005318
Publication Date: 24.01.2002 International Filing Date: 21.06.2001
IPC:
H01L 21/68 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (For All Designated States Except US).
KONDO, Masaki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KONDO, Masaki; (JP)
Agent: YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office Room 323, Fuji Bldg. 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-0005 (JP)
Priority Data:
2000-219823 19.07.2000 JP
Title (EN) DISPLACEMENT DETECTOR AND PROCESSING SYSTEM
(FR) DETECTEUR DE DEPLACEMENT ET SYSTEME DE TRAITEMENT
Abstract: front page image
(EN)A displacement detector capable of accurately detecting the presence or absence and the amount of the displacement of a disk-like processed body (W) having an orientation identifying cut-out part (OF) on the peripheral part thereof, comprising three profile detection sensors (36-1 to 36-3, 38-1 to 38-3) disposed so as to detect the position of the peripheral profile of the processed body excluding the orientation identifying cut-out part and a displaced amount calculation part (40) for calculating the amount of displacement between the center position of the processed body and a reference origin based on the values detected by the three profile detection sensors, whereby the presence or absence and the amount of the displacement of the processed body can be provided accurately without being affected by the manufacturing error and thermal telescoping of the processed body.
(FR)L'invention concerne un détecteur de déplacement permettant de détecter précisément la présence ou l'absence et la longueur du déplacement d'un corps traité de type disque (W) comprenant, sur sa périphérie, une découpe permettant de détecter son orientation (OF). Ce détecteur comprend trois capteurs de détection de profile (36-1 à 36-3, 38-1 à 38-3) disposés de façon à détecter la position du profile périphérique du corps traité, sans tenir compte de la découpe permettant de détecter son orientation, et un élément de calcul de longueur de déplacement (40) destiné au calcul de la longueur du déplacement du disque entre la position centrale du corps traité et le point d'origine de référence, sur la base des valeurs obtenues par l'intermédiaire des trois capteurs de détection de profile. La présence ou l'absence et la longueur du déplacement du corps traité peuvent être obtenues avec précision sans entraîner de vice de fabrication et de télescopage thermique du corps traité.
Designated States: KR, US.
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)