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1. (WO2002005969) APPARATUS AND METHOD FOR SYNTHESIZING FILMS AND COATINGS BY FOCUSED PARTICLE BEAM DEPOSITION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2002/005969    International Application No.:    PCT/US2001/022766
Publication Date: 24.01.2002 International Filing Date: 19.07.2001
Chapter 2 Demand Filed:    13.02.2002    
IPC:
C04B 35/58 (2006.01), C23C 4/12 (2006.01), C23C 24/04 (2006.01)
Applicants: REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MINNESOTA [US/US]; 450 McNamara Alumni Center 200 Oak Street S.E. Minneapolis, MN 55455-2070 (US) (For All Designated States Except US).
RAO, Nagaraja, P. [IN/US]; (US) (For US Only).
HEBERLEIN, Joachim [US/US]; (US) (For US Only).
GERBERICH, William [US/US]; (US) (For US Only).
GIRSHICK, Steven, L. [US/US]; (US) (For US Only).
MCMURRY, Peter, H. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: RAO, Nagaraja, P.; (US).
HEBERLEIN, Joachim; (US).
GERBERICH, William; (US).
GIRSHICK, Steven, L.; (US).
MCMURRY, Peter, H.; (US)
Agent: DRAGSETH, John, A.; Fish & Richardson P.C., P.A. 60 South Sixth Street, Suite 3300 Minneapolis, MN 55402 (US)
Priority Data:
60/219,728 19.07.2000 US
Title (EN) APPARATUS AND METHOD FOR SYNTHESIZING FILMS AND COATINGS BY FOCUSED PARTICLE BEAM DEPOSITION
(FR) APPAREIL ET PROCEDE DE SYNTHESE DE FILMS ET DE REVETEMENTS AU MOYEN D'UN DEPOT PAR FAISCEAU DE PARTICULES FOCALISE
Abstract: front page image
(EN)A particle beam deposition apparatus includes a particle source for generating a plurality of particles in suspended form, an expansion chamber, and a deposition chamber connected to the expansion chamber by an aerodynamic focusing stage, and containing a substrate. The aerodynamic focusing stage may be comprised of a plurality of aerodynamic focusing elements, or lenses. Particles, including nanoparticles, may be deposited on the substrate by generating an aerosol cloud of particles, accelerating the particles into the expansion chamber, creating a collimated beam out of the particles by passing them through the aerodynamic focusing lenses and into a deposition chamber, and impacting the particles into the substrate.
(FR)L'invention concerne un appareil de dépôt par faisceau de particules comprenant une source de particules servant à produire une pluralité de particules en suspension, une chambre d'expansion et une chambre de dépôt reliée à la chambre d'expansion par un étage de focalisation aérodynamique, ledit appareil faisant intervenir un substrat. L'étage de focalisation aérodynamique peut être constitué par une pluralité d'éléments de focalisation aérodynamiques, tels que des lentilles. On peut déposer des particules, et notamment des nanoparticules, sur le substrat en produisant un nuage aérosol de particules, en accélérant ces particules dans la chambre d'expansion, en créant un faisceau aligné avec ces particules, lesquelles sont amenées à traverser les lentilles de focalisation aérodynamiques ainsi qu'une chambre de dépôt, puis en projetant ces particules contre le substrat.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)