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1. (WO2002005325) CHUCK WITH HEAT EXCHANGER AND TEMPERATURE CONTROL FLUID
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2002/005325    International Application No.:    PCT/US2001/021573
Publication Date: 17.01.2002 International Filing Date: 09.07.2001
Chapter 2 Demand Filed:    07.02.2002    
IPC:
B23Q 11/12 (2006.01), F25B 9/00 (2006.01), F25B 39/02 (2006.01), F28F 27/00 (2006.01), F28F 27/02 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Applicants: TEMPTRONIC CORPORATION [US/US]; 4 Commercial Street Sharon, MA 02067-1653 (US) (For All Designated States Except US).
COUSINEAU, Shawn, M. [US/US]; (US) (For US Only).
KELSO, Robert, D. [US/US]; (US) (For US Only).
OLSEN, Douglas, S. [US/US]; (US) (For US Only).
STURA, David [US/US]; (US) (For US Only).
LOPEZ, Robert, R. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: COUSINEAU, Shawn, M.; (US).
KELSO, Robert, D.; (US).
OLSEN, Douglas, S.; (US).
STURA, David; (US).
LOPEZ, Robert, R.; (US)
Agent: MILLS, Steven, M.; Mills & Onello LLP Suite 605 Eleven Beacon Street Boston, MA 02108 (US)
Priority Data:
09/614,488 11.07.2000 US
09/858,185 15.05.2001 US
Title (EN) CHUCK WITH HEAT EXCHANGER AND TEMPERATURE CONTROL FLUID
(FR) MANDRIN A ECHANGEUR DE CHALEUR PRESENTANT UNE SURFACE DE DEFLEXION INCLINEE PERMETTANT D'ORIENTER LE FLUIDE FRIGORIGENE ET DE RECUPERER LE FLUIDE DE REGULATION THERMIQUE CIRCULANT
Abstract: front page image
(EN)A system and method for controlling temperature in a workpiece chuck are described. A fluid circulation system circulates a temperature control fluid, such as an engineered HFE fluid, through the workpiece chuck. A fluid recovery system coupled to the fluid circulation system recovers a portion of the temperature control fluid from the fluid circulation system by circulating a gas through the fluid circulation system including fluid tubes and fluid passages in the chuck. The gas, which can be air, carries a portion of residual or excess fluid through the fluid circulation system as it is circulated. The residual fluid is carried back to a reservoir such that it can continue to be used to control temperature of the chuck. Where gas and temperature control fluid vapors are displaced from the reservoir, they are routed through a suction line heat exchanger which condenses the vapor. The gas and condensed fluid are separated in a fluid separator. The separated fluid is returned to the reservoir, and the separated air can be vented to the atmosphere.
(FR)La présente invention concerne un système et un procédé permettant de réguler la température d'un mandrin de pièce. Un système de circulation de fluide fait circuler un fluide de régulation thermique, tel qu'un fluide d'hydrofluoroéther de production, via le mandrin de pièce. Un système de récupération de fluide couplé au système de circulation de fluide récupère une partie du fluide de régulation thermique du système de circulation de fluide en faisant circuler un gaz dans le système de circulation de fluide, notamment dans les tuyaux et les passages de fluide du mandrin. Le gaz, éventuellement de l'air, transporte une partie du fluide résiduel ou excédentaire à travers le système de circulation de fluide lorsqu'il est en circulation. Le fluide résiduel est réacheminé vers le réservoir pour être réutilisé dans la régulation thermique du mandrin. Lorsque les vapeurs du gaz et du fluide de régulation thermique sont déplacées du réservoir, celles-ci sont acheminées dans un échangeur thermique à conduite d'aspiration pour assurer leur condensation. Le gaz et le fluide condensé sont séparés dans un séparateur de fluides. Le fluide ainsi séparé est renvoyé au réservoir, l'air séparé pouvant être alors libéré dans l'atmosphère.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)