WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2002004176) ROBOT HAVING INDEPENDENT END EFFECTOR LINKAGE MOTION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2002/004176    International Application No.:    PCT/US2001/020330
Publication Date: 17.01.2002 International Filing Date: 26.06.2001
Chapter 2 Demand Filed:    06.02.2002    
IPC:
B25J 9/04 (2006.01), B25J 9/06 (2006.01), B25J 9/10 (2006.01), B25J 18/02 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: GENMARK AUTOMATION [US/US]; 1213 Elko Drive Sunnyvale, CA 94089 (US)
Inventors: TODOROV, Alexander; (US).
SOTIROV, Zlatko; (US).
GENOV, Mila; (US)
Agent: KREBS, Robert E.; Thelen Reid & Priest LLP P.O Box 640640 San Jose, CA 95164-0640 (US)
Priority Data:
09/610,969 06.07.2000 US
Title (EN) ROBOT HAVING INDEPENDENT END EFFECTOR LINKAGE MOTION
(FR) ROBOT COMPRENANT UN LEVIER ARTICULE D'OUTIL TERMINAL INDEPENDANT
Abstract: front page image
(EN)A substrate handling system comprises a robot (20) containing micro-environment (32) in communication with a plurality of processing stations (34). The robot (20) has a robot arm (30) comprising an end effector linkage (50) mounted to an extensible (40) linkage. Each of the linkages is independently actuatable using an associated motor, with the extensible linkage (40) serving to convey the end effector linkage (50) to the vicinity of a target processing station for delivery or retrieval of a substrate. Motion of the linkages may be synchronized to reduce travel time, and multiple end effectors may be mounted to the extensible linkage (40) for increasing throughput.
(FR)L'invention concerne un système de manutention de substrats composé d'un robot (20) et d'un microenvironnement (32) en communication avec une pluralité de postes de traitement (34). Le robot (20) comprend un bras (30) composé d'un levier articulé d'outil terminal (50) monté sur un levier articulé extensible (40). Chacun des leviers articulés peut être actionnée indépendamment à l'aide d'un moteur associé, le levier articulé extensible (40) servant à déplacer le levier articulé d'outil terminal (50) vers un poste de traitement cible pour la distribution ou la récupération d'un substrat. Le mouvement des leviers articulés peut être synchronisé pour réduire le temps de déplacement, plusieurs outils terminaux pouvant être montés sur le levier articulé extensible (40) pour augmenter la production.
Designated States: JP.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)