WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2002003434) CERAMIC HEATER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING/TESTING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2002/003434 International Application No.: PCT/JP2001/005742
Publication Date: 10.01.2002 International Filing Date: 03.07.2001
IPC:
H01L 21/00 (2006.01) ,H05B 3/14 (2006.01) ,H05B 3/26 (2006.01)
Applicants: ITO, Yasutaka[JP/JP]; JP (UsOnly)
MASHIMA, Kazutaka[JP/JP]; JP (UsOnly)
IBIDEN CO., LTD.[JP/JP]; 1, Kandacho 2-chome Ogaki-shi, Gifu 503-0917, JP (AllExceptUS)
Inventors: ITO, Yasutaka; JP
MASHIMA, Kazutaka; JP
Agent: YASUTOMI, Yasuo ; Chuo Bldg. 4-20, Nishinakajima 5-chome, Yodogawa-ku Osaka-shi, Osaka 532-0011, JP
Priority Data:
2000-20106003.07.2000JP
Title (EN) CERAMIC HEATER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING/TESTING APPARATUS
(FR) RADIATEUR CERAMIQUE POUR APPAREIL DE FABRICATION OU DE TEST DE SEMI-CONDUCTEURS
Abstract: front page image
(EN) A ceramic heater for a semiconductor manufacturing/testing apparatus has a resistance heating element excellent in adhesion with its substrate. The ceramic heater including a resistance heating element formed on the surface of its ceramic substrate, is characterized in that the surface of the side of the resistance heating element is corrugated.
(FR) La présente invention concerne un radiateur céramique pour appareil de fabrication ou de test de semi-conducteurs. Ce radiateur comporte un élément chauffant à résistance présentant de très bonnes caractéristiques d'adhésion au substrat. Ce radiateur céramique comportant un élément chauffant à résistance formé sur la surface de son substrat céramique est caractérisé en ce que la surface du côté de l'élément chauffant à résistance est ondulée.
Designated States: JP, US
European Patent Office (EPO) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)