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1. (WO2002003431) APPARATUS AND METHODS FOR SEMICONDUCTOR WAFER PROCESSING EQUIPMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2002/003431    International Application No.:    PCT/US2001/020954
Publication Date: 10.01.2002 International Filing Date: 29.06.2001
Chapter 2 Demand Filed:    30.01.2002    
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: AJS AUTOMATION, INC. [US/US]; 16 Mitchell Road Ipswich, MA 01938 (US)
Inventors: SOUCY, Alan, J.; (US).
CASTANTINI, James, S.; (US).
HOYT, Kevin; (US)
Agent: FORCIER, John, V.; Testa, Hurwitz & Thibeault, LLP High Street Tower 125 High Street Boston, MA 02110 (US)
Priority Data:
60/215,584 30.06.2000 US
60/242,127 20.10.2000 US
Title (EN) APPARATUS AND METHODS FOR SEMICONDUCTOR WAFER PROCESSING EQUIPMENT
(FR) APPAREIL ET PROCEDES POUR DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE TRANCHE DE SEMICONDUCTEUR
Abstract: front page image
(EN)The invention relates generally to equipment for semiconductor wafer processing, for example, mechanisms and apparatus for handlig pods or containers for housing silicon wafers or substrates. The pod may be a front-opening unified pod or similar article and may house a carrier or cassette for holding the wafers or substrates. Additionally, the invention relates generally to an automated system for transporting a plurality of wafers in the pod for processing, loading the pod on the receiving station, sealig the pod against an interface, openeing the door of the pod, and shuttling the wafers into and out of a connected clean environment processing station, such as an ion implantation machine, using a robotic device.
(FR)La présente invention concerne de façon générale un dispositif de traitement de tranche de semiconducteur, tels que des mécanismes et des appareils de manipulation de récipients destinés à contenir des tranches de silicium ou des substrats. Ce récipient peut être un récipient unifié à ouverture avant ou un article similaire pouvant contenir un support ou une cassette destinée à porter les tranches ou les substrats. Par ailleurs, cette invention concerne un système automatique permettant de transporter une pluralité de tranches à traiter dans le récipient, de charger le récipient dans le poste de réception, de sceller le récipient contre une interface, d'ouvrir la porte du récipient, et d'acheminer les tranches vers/depuis un poste de traitement écologique, notamment une machine à implantation ionique, utilisant un dispositif robotisé.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)