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1. (WO2002000960) MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2002/000960    International Application No.:    PCT/JP2000/006489
Publication Date: 03.01.2002 International Filing Date: 21.09.2000
IPC:
C23C 14/35 (2006.01), H01J 37/34 (2006.01)
Applicants: SANYO SINKUU KOUGYOU CO., LTD [JP/JP]; 8-27, Kusune 1-chome, Higashiosaka-shi, Osaka 577-0006 (JP) (For All Designated States Except US).
KITABATAKE, Akihiro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KAWABATA, Keishi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TANAKA, Takeshi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KAJIOKA, Syu [JP/JP]; (JP) (For US Only).
YAMADA, Keiji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MIKAMI, Yasuo [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KITABATAKE, Akihiro; (JP).
KAWABATA, Keishi; (JP).
TANAKA, Takeshi; (JP).
KAJIOKA, Syu; (JP).
YAMADA, Keiji; (JP).
MIKAMI, Yasuo; (JP)
Priority Data:
2000/237712 29.06.2000 JP
Title (EN) MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE PULVERISATION MAGNETRON
Abstract: front page image
(EN)A magnetron sputtering device capable of forming a magnetic thin film by using as a target a magnetic element having a thickness suitable for mass-production, and being good in production efficiency, low in cost and excellent in economies, the device comprising the device's target consisting of a magnetic element, and a magnetic field generating means consisting of a rare-earth magnet and provided behind a target, a space being formed so as to surround a target on the substrate side. An auxiliary magnetic field generating means is provided on the periphery edge outer side with its magnetic pole surface facing the center of the space so as to form an unbalanced magnetic field in the space by the rare-earth magnet and the auxiliary magnetic field generating means.
(FR)L'invention porte sur un dispositif de pulvérisation magnétron capable de former un film mince magnétique en utilisant comme cible un élément magnétique dont l'épaisseur est appropriée à la production en série, ce dispositif étant produit avec un bon rendement et à faible coût. Le dispositif comprend la cible constituée d'un élément magnétique, et un générateur de champ magnétique comprenant un aimant des terres rares et placé derrière une cible, un espace étant formé de façon à entourer la cible sur le côté du substrat. Un générateur auxiliaire de champ magnétique est ménagé sur le côté externe périphérique, la surface de son pôle magnétique étant opposée au centre de l'espace de façon à former dans l'espace un champ magnétique non équilibré au moyen de l'aimant des terres rares et du générateur auxiliaire de champ magnétique.
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)