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1. (WO2002000957) SYSTEM FOR DELIVERING A VAPOR AND METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2002/000957 International Application No.: PCT/US2001/019217
Publication Date: 03.01.2002 International Filing Date: 14.06.2001
Chapter 2 Demand Filed: 21.12.2001
IPC:
B01D 1/00 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.[US/US]; P.O. Box 450A Santa Clara, CA 95052, US
Inventors: TULSHIBAGWALE, Sheshraj; US
LUBOMIRSKY, Dmitry; US
YAVELBERG, Simon; US
WATANABE, Yoshio; US
SINGH, Saravjeet; US
Agent: BERNADICOU, Michael, A. ; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP 7th Floor 12400 Wilshire Boulevard Los Angeles, CA 90025, US
Priority Data:
09/602,06323.06.2000US
Title (EN) SYSTEM FOR DELIVERING A VAPOR AND METHOD
(FR) SYSTEME D'APPORT DE VAPEUR ET PROCEDE
Abstract: front page image
(EN) Highly efficient conversion of a liquid (43) to a vapor can be carried out in a vessel (42) that is transparent to infrared energy by mounting an infrared lamp (46) adjacent to the vessel. The liquid absorbs light from the infrared lamp, heating the liquid. Heating can be further facilitated by immersing opaque dielectric bodies (44), such as polytetrafluoroethylene or ceramic spheres, in the liquid. The light energy from the lamp is absorbed by the dielectric bodies, energy, heating the bodies and in turn further heating the liquid in which they are immersed. The vaporized liquid can be passed to a processing chamber.
(FR) La présente invention concerne une transformation hautement efficace d'un liquide en vapeur, qui peut être mise en oeuvre dans une cuve transparente pour l'énergie infrarouge, par le montage d'une lampe à infrarouge près de cette cuve. Le liquide absorbe la lumière en provenance de la lampe à infrarouge, chauffant ainsi le liquide. On peut encore favoriser ce réchauffement en immergeant dans ce liquide des corps diélectriques opaques, tels que des sphères de polytétrafluoroéthylène ou de céramique. L'énergie lumineuse de cette lampe est absorbée par ces corps diélectriques, énergie qui chauffe ces corps, lesquels chauffent à leur tour à nouveau le liquide dans lequel ils sont immergés. Le liquide vaporisé peut être envoyé dans une chambre de traitement.
Designated States: JP
European Patent Office (EPO) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)