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1. (WO2001088947) CONTROL SYSTEM FOR INDIRECTLY HEATED CATHODE ION SOURCE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/088947    International Application No.:    PCT/US2001/015635
Publication Date: 22.11.2001 International Filing Date: 15.05.2001
Chapter 2 Demand Filed:    19.11.2001    
IPC:
H01J 27/02 (2006.01), H01J 27/08 (2006.01)
Applicants: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road Gloucester, MA 01930 (US)
Inventors: OLSON, Joseph, C.; (US).
DISTASO, Daniel; (US).
RENAU, Anthony; (US)
Agent: MCCLELLAN, William, R.; Wolf, Greenfield & Sacks, P.C. 600 Atlantic Avenue Boston, MA 02210 (US)
Priority Data:
60/204,936 17.05.2000 US
60/204,938 17.05.2000 US
09/825,901 04.04.2001 US
Title (EN) CONTROL SYSTEM FOR INDIRECTLY HEATED CATHODE ION SOURCE
(FR) SYSTEME DE REGULATION POUR SOURCE D'IONS A CATHODE A CHAUFFAGE INDIRECT
Abstract: front page image
(EN)An indirectly heated cathode ion source includes an extraction current sensor for sensing ion current extracted from the arc chamber and an ion source controller for controlling the filament power supply, the bias power supply and/or the arc power supply. The ion source controller may compare the sensed extraction current with a reference extraction current and determine an error value based on the difference between the sensed extraction current and the reference extraction current. The power supplies of the indirectly heated cathode ion source are controlled to minimize the error value, thus maintaining a substantially constant extraction current. The ion source controller utilizes a control algorithm, for example a closed feedback loop, to control the power supplies in response to the error value. In a first control algorithm, the bias current I¿B? supplied by the bias power supply is varied so as to control the extraction current I¿E?. Further according to the first control algorithm, the filament current I¿F? and the arc voltage V¿A? are maintained constant. According to a second control algorithm, the filament current I¿F? is varied so as to control the extraction current I¿E?. Further according to the second control algorithm, the bias current I¿B? and the arc voltage V¿A? are maintained constant.
(FR)Selon l'invention, une source d'ions à cathode à chauffage indirect comprend un détecteur de courant d'extraction qui détecte un courant ionique extrait du tube à arc et un régulateur de source d'ions qui régule la source d'énergie du filament, la source d'énergie de polarisation et/ou la source d'énergie de l'arc. Le régulateur de source d'ions peut comparer le courant d'extraction détecté au moyen d'un courant d'extraction de référence, et déterminer une valeur d'erreur sur la base de l'écart entre le courant d'extraction détecté et le courant d'extraction de référence. Les sources d'énergie de la source d'ions à cathode à chauffage indirect sont régulées afin de réduire au minimum la valeur d'erreur et de maintenir ainsi un courant d'extraction sensiblement constant. Le régulateur de source d'ions met en oeuvre un algorithme de régulation, par exemple une boucle de rétroaction fermée, pour réguler les sources d'énergie en fonction de la valeur d'erreur. Selon un premier algorithme de régulation, le courant de polarisation I¿B? fourni par la source d'énergie de polarisation est varié de manière à réguler le courant d'extraction I¿E?. De plus, conformément audit premier algorithme de régulation, le courant de filament I¿F? et la tension d'arc V¿A? sont maintenus constants. Selon un deuxième algorithme de régulation, le courant de filament I¿F? est varié de manière à réguler le courant d'extraction I¿E?. En outre, conformément audit deuxième algorithme de régulation, le courant de polarisation I¿B? et la tension d'arc V¿A? sont maintenus constants.
Designated States: CN, IL, JP, KR.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)