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1. (WO2001084126) DIRECTIONAL LIGHTING AND METHOD TO DISTINGUISH THREE DIMENSIONAL INFORMATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/084126    International Application No.:    PCT/US2001/013477
Publication Date: 08.11.2001 International Filing Date: 26.04.2001
Chapter 2 Demand Filed:    19.10.2001    
IPC:
G01N 21/956 (2006.01), G06T 7/00 (2006.01)
Applicants: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. [US/US]; 13900 NW Science Park Drive Portland, OR 97229 (US)
Inventors: CHAPMAN, Kenneth; (US).
DAHAN, Sam; (US)
Agent: BEJIN, Thomas, E.; Young & Basile, P.C. Suite 624 3001 W. Big Beaver Road Troy, MI 48084 (US).
FRITZ, Oliver; Dreiss, Fuhlendorf Steimle & Becker Gerokstrasse 6 70188 Stuttgart (DE)
Priority Data:
60/200,776 28.04.2000 US
Title (EN) DIRECTIONAL LIGHTING AND METHOD TO DISTINGUISH THREE DIMENSIONAL INFORMATION
(FR) ECLAIRAGE DIRECTIONNEL ET PROCEDE DE DISTINCTION DE TROIS INFORMATIONS DIMENSIONNELLES
Abstract: front page image
(EN)The present invention provides a method and an apparatus (10) for evaluating the surfaces of substrates (22) for three dimensional defects (20). The present invention uses low angled lighting (16, 18) positioned on opposite sides of the substrate. A camera (12), positioned above the substrate captures two images thereof, one using the first light source, one using the second. The first and second images are subtracted from one another to create a third image. Camera data suggestive of three dimensional features is emphasized by subtracting the two images and can be evaluated. A fourth image may be created by selecting the minimum values between the first and second images on a point by point basis. The fourth image also provides useful information in evaluating three dimensional defects.
(FR)La présente invention concerne un procédé et un appareil d'évaluation des surfaces de substrats dans la recherche de défauts tridimensionnels. Cette invention a recours à un éclairage oblique placé sur des côtés opposés du substrat. Une caméra positionnée au-dessus du substrat capture deux images correspondantes, une utilisant la première source de lumière, une autre la seconde. On soustrait les première et seconde images l'une de l'autre pour créer une troisième image. On met en valeur des données de caméra indicatrices des caractéristiques tridimensionnelles par soustraction des deux images et on peut ainsi évaluer lesdites données. On peut créer une quatrième image par le biais de la sélection des valeurs minimales entre les première et seconde images sur un point par une base de points. La quatrième image présente également des informations utiles concernant l'évaluation des défauts tridimensionnels.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)