WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2001084099) SENSOR MODULE AND A METHOD FOR THE PRODUCTION OF THE SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/084099    International Application No.:    PCT/IB2001/000639
Publication Date: 08.11.2001 International Filing Date: 20.04.2001
Chapter 2 Demand Filed:    03.12.2001    
IPC:
G01F 1/684 (2006.01)
Applicants: SENSIRION AG [CH/CH]; Eggbühlstrasse 14, CH-8052 Zürich (CH) (AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BJ, BR, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GR, GW, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MC, MD, MG, MK, ML, MN, MR, MW, MX, MZ, NE, NL, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SN, SZ, TD, TG, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW only).
MAYER, Felix [CH/CH]; (CH) (For US Only).
STEINER VANHA, Ralph [CH/CH]; (CH) (For US Only)
Inventors: MAYER, Felix; (CH).
STEINER VANHA, Ralph; (CH)
Agent: E. BLUM & CO.; Vorderberg 11, CH-8044 Zürich (CH)
Priority Data:
871/00 04.05.2000 CH
Title (DE) SENSORBAUSTEIN UND EIN VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
(EN) SENSOR MODULE AND A METHOD FOR THE PRODUCTION OF THE SAME
(FR) MODULE DE DETECTION ET SON PROCEDE DE FABRICATION
Abstract: front page image
(DE)Auf einem Halbleitersubstrat (1) werden eine Thermosäule (2) und eine Auswerteelektronik (6) integriert. Auf den Kontaktreihen der Thermosäule und thermisch mit diesen verbunden sind zwei Erhöhungen (8, 9) aus Metall aufgebracht, die z.B. mit Anschlusszungen verbunden werden können, so dass ein Temperaturunterschied extern zum Halbleitersubstrat (1) gemessen werden kann. Da die Auswerteelektronik sich auf dem gleichen Substrat wie die Thermosäule befindet, können auf diese Weise Temperaturunterschiede mit hoher Genauigkeit und geringer Störanfälligkeit gemessen werden.
(EN)A thermopile (2) and an electronic evaluation unit (6) are integrated into a semiconductor substrate (1). Two metallic elevations (8, 9) are applied and thermally connected to the rows of contacts of the thermopile. Said elevations can, for example, be connected to connection contacts, in such a way that a temperature difference can be measured externally to the semiconductor substrate (1). As the electronic evaluation unit is located on the same substrate as the thermopile, temperature differences can thus be measured with greater accuracy and lower susceptibility to interference.
(FR)Une colonne thermométrique (2) et une unité électronique de détection (6) sont placées un substrat semi-conducteur. Deux parties métalliques en relief (8, 9) sont installées sur les rangées de contacts de la colonne thermométrique, auxquelles lesdites parties sont reliées thermiquement. Ces parties peuvent être reliées au moyen de lames de connexion, de sorte qu'une variation de température peut être mesurée à l'extérieur du substrat semi-conducteur (1). Etant donné que l'unité électronique de détection se trouve sur le même substrat que la colonne thermométrique, des variations de température peuvent ainsi être mesurées avec une plus grande précision et une plus faible sensibilité aux parasites.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)