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1. (WO2001082019) METHOD AND DEVICE FOR CONDITIONING ATMOSPHERE IN A PROCESS CHAMBER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/082019    International Application No.:    PCT/FR2001/001220
Publication Date: 01.11.2001 International Filing Date: 20.04.2001
IPC:
C23C 16/44 (2006.01), G05D 16/20 (2006.01), G05D 27/02 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: ALCATEL [FR/FR]; 54, rue la Boétie F-75008 Paris (FR)
Inventors: BERNARD, Roland; (FR).
CHEVALIER, Eric; (FR).
SOGAN, Gloria; (FR)
Agent: PONCET, Jean-François; Cabinet Poncet 7, chemin de Tillier B.P. 317 F-74008 Annecy Cedex (FR)
Priority Data:
00/05094 20.04.2000 FR
Title (EN) METHOD AND DEVICE FOR CONDITIONING ATMOSPHERE IN A PROCESS CHAMBER
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE CONDITIONNEMENT DE L'ATMOSPHERE DANS UNE CHAMBRE DE PROCEDES
Abstract: front page image
(EN)The invention concerns a method for conditioning the atmosphere in a process chamber (1) using a primary pump (3), a secondary pump (2), means controlling (6, 7) the primary pump speed, and at least first gas analysing means (9) adapted to analyse the gases sucked upstream of the primary pump (3) and to produce first analysing signals (10). First signal processing means (6) control the pumping speed on the basis of the first analysing signals (10) so as to determine the evolution of pressure in the process chamber (1) during the treatment transitory phases. Thus, deposits and turbulence are avoided in the process chamber (1), and deposits in the pumping line, so that the secondary pump (2) can be placed immediately proximate to the process chamber (1).
(FR)Selon l'invention, on conditionne l'atmosphère dans une chambre de procédés (1) en utilisant une pompe primaire (3), une pompe secondaire (2), des moyens de commande (6, 7) de vitesse de la pompe primaire, et au moins des premiers moyens analyseurs de gaz (9) adaptés pour analyser les gaz aspirés en amont de la pompe primaire (3) et pour produire des premiers signaux d'analyse (10). Des premiers moyens de traitement de signal (6) commandent la vitesse de pompage en fonction des premiers signaux d'analyse (10), de manière à déterminer l'évolution de la pression de la chambre de procédés (1) pendant les phases transitoires de traitement. On évite ainsi les dépôts et les turbulences dans la chambre de procédés (1), et les dépôts dans la ligne de pompage, de sorte que la pompe secondaire (2) peut être placée à proximité immédiate de la chambre de procédés (1).
Designated States: JP, KR.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)