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1. WO2001057402 - FRICTION VACUUM PUMP

Note: Text based on automatic Optical Character Recognition processes. Please use the PDF version for legal matters

[ DE ]

Reibungsvakuumpumpe

1. Reibungspumpe (1) mit einem feststehenden, Statorschaufelreihen tragenden Bauteil (7) sowie mit einem rotierenden, Rotorschaufelreihen tragenden
Bauteil (6), wobei die Stator- und Rotorschaufelreihen konzentrisch zur Drehachse (4) des rotierenden Bauteils (6) angeordnet sind und ineinandergreifen, dadurch gekennzeichnet, dass sich die die Rotor- und Statorschaufelreihen tragenden Bauteile (6, 7) im wesentlichen radial und die Längsachsen der Schaufeln (2, 3) im wesentlichen axial erstrecken.

2. Pumpe nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet,
dass die die Schaufeln (2, 3) tragenden Bauteile
(6, 7) scheibenförmig gestaltet sind.

3. Pumpe nach Anspruch 1 oder 2 , dadurch gekennzeichnet, dass die Pumpe von außen nach innen durchströmt ist.

4. Pumpe nach Anspruch 3 , dadurch gekennzeichnet,
dass die Schaufellänge von außen nach innen abnimmt .

5. Pumpe nach Anspruch 3 oder4 , dadurch gekennzeichnet, dass die Schaufelbreite von außen nach innen abnimmt .

6. Pumpe nach Anspruch 1 oder 2 , dadurch gekennzeichnet, dass bei einer von innen nach außen durchströmten Pumpe (1) die Schaufellänge von innen
nach außen abnimmt .

7. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das feststehende, die
Statorschaufeln (3) tragende Bauteil (7) Bestandteil eines Gehäuses (8) der Pumpe (1) ist.

8. Pumpe nach Anspruch 1 oder 2 , dadurch gekennzeichnet, dass sie zwei- oder mehrflutig ausgebildet ist .

9. Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 7 , dadurch gekennzeichnet, dass mehrere radial fördernde
Pumpstufen axial hintereinander angeordnet sind.

10. Pumpe nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
dass rotierende und/oder feststehende Bauteile (6 bzw. 7) beidseitig Rotor- bzw. Statorschaufeln (2 bzw. 3) tragen.

11. Pumpe nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass ihr Auslass radial innen angeordnet ist und die Antriebswelle (14) für die rotierenden Bauteile (6) umgibt.

12. Pumpe nach einem der vorhergehenden Patentansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie mit mindestens einer weiteren Reibungspumpenstufe (32, 33) kombiniert ist.

13. Pumpe nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet,
dass das rotierende Bauteil (6) gemeinsam mit den rotierenden Bauteilen (41, 42) der weiteren Reibungspumpenstufen auf einer Welle (39) angeordnet ist .

14. Pumpe nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet,
dass sie die Hochvakuumseite einer weiteren Reibungspumpe (31) vom Motorraum (49) des gemeinsamen Antriebsmotors (48) trennt.

15. Pumpe nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet,
dass der Auslass der Pumpe (1) mit dem Einlass einer Molekularpumpe (33) verbunden ist.

16. Kombinierte ReibungsVakuumpumpe nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass sie zwei
oder mehr Hochvakuumpumpstufen (32, 33) mit jeweils einem Einlass (36, 36') aufweist und dass die Einlasse jeweils durch mindestens eine radial fördernde Pumpstufen (1, 1') voneinander getrennt sind.

17. Pumpe nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet,
dass zwei Hochvakuumpumpstufen (32, 32') mit jeweils einem Einlass (36, 36') vorgesehen sind und dass der Einlass der radialen Pumpstufe (1) mit dem einen (36) der beiden Einlasse und ihr Auslass mit dem zweiten (36') der beiden Einlasse in Verbindung steht.

18. Pumpe nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet,
dass zwei radial fördernde Pumpstufen (1, 1') die Einlasse (36, 36') voneinander trennen.

19. Pumpe nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet,
dass für die Hochvakuumpumpstufen (32, 32') und für die radial fördernden Pumpstufen (1, 1'; 1,
1'') eine gemeinsame weiterführende Molekularpumpstufe (33) vorgesehen ist.