Processing

Please wait...

Settings

Settings

Goto Application

1. WO2001056057 - METHOD FOR DETECTING GEOMETRICAL-OPTICAL ABERRATIONS

Publication Number WO/2001/056057
Publication Date 02.08.2001
International Application No. PCT/DE2000/004578
International Filing Date 20.12.2000
Chapter 2 Demand Filed 31.07.2001
IPC
H01J 37/153 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
153Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
CPC
H01J 37/153
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
153Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
Applicants
  • CEOS CORRECTED ELECTRON OPTICAL SYSTEMS GMBH [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • JEOL LTD. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • ZACH, Joachim [DE]/[DE] (UsOnly)
Inventors
  • ZACH, Joachim
Agents
  • PÖHNER, Wilfried
Priority Data
100 03 127.726.01.2000DE
Publication Language German (DE)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG GEOMETRISCH OPTISCHER ABBILDUNGSFEHLER
(EN) METHOD FOR DETECTING GEOMETRICAL-OPTICAL ABERRATIONS
(FR) PROCEDE DE DETECTION D'ERREUR DE REPRESENTATION OPTIQUE GEOMETRIQUE
Abstract
(DE)
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Ermittlung geometrisch optischer Abbildungsfehler bis einschliesslich 3. Ordnung in teilchenoptischen, sondenformenden Anordnungen, insbesondere Rasterelektronenmikroskopen, mit einer punktförmigen Quelle, Linsen, einem Objekt und einem Detektor, wobei die Abbildung erfasst wird (6), der Vorgang mit einem unter- und einem überfokussierten Strahl wiederholt wird, die Abbildungen (6, 6a, 6b) in den Fourierraum transformiert werden, die Transformation der überfokussierten als auch unterfokussierten Abbildung (7a) durch die der fokussierten Abbildung (7) dividiert (8) und das Ergebnis zurücktransformiert wird, und somit die Helligkeitsprofile der Sonden (5, 5a), d.h. der Abbildungen der Quelle (1) im Über- und Unterfokus, ermittelt werden, die Asymmetrie, die Breite und/oder die Krümmung des Profils (9, 9a) im Schwerpunkt bestimmt wird, und aus den Unterschieden die Abbildungsfehler ermittelt werden.
(EN)
The invention relates to a method for detecting geometrical-optical aberrations up to the third order in particle optics systems that use probes, especially in scanning electron microscopes that have a punctiform source, lenses, an object and a detector. The image is detected (6), the process is repeated with an underfocussed or overfocussed beam, and the images (6, 6a, 6b) are subjected to a Fourier transformation. The transformation of the overfocussed as well as of the underfocussed image (7a) is divided (8) by that of the focussed image (7) and the result is subjected to a reverse transformation, thereby detecting the brightness profiles of the probes (5, 5a), that is of the images of the source (1) in the overfocussed and underfocussed state. The asymmetry, the width and/or the curvature of the profile (9, 9a) in the center is determined and aberrations are detected from the differences.
(FR)
La présente invention concerne un procédé de détection d'erreur de représentation optique géométrique, jusqu'au troisième ordre inclus, dans des dispositifs sous forme de sondes, de l'optique des particules, notamment des microscopes électroniques à balayage, comprenant une source ponctuelle, des lentilles, un objet et un détecteur. Selon ce procédé, la représentation est détectée (6), le processus avec un faisceau sous-focalisé et un faisceau sur-focalisé est répété, les représentations (6, 6a, 6b) sont transformées dans l'espace de Fourier, la transformation de la représentation sur-focalisée et sous-focalisée (7a) est divisée (8) par celle de la représentation focalisée (7) et le résultat est retransformé. Ainsi, les profils de luminosité des sondes (5, 5a), c'est-à-dire les représentations de la source (1) dans le sur-foyer et le sous-foyer, sont détectés, l'asymétrie, la largeur et/ou la courbure du profil (9, 9a) au centre de gravité sont déterminées et, à partir des différences, les erreurs de représentations sont détectées.
Latest bibliographic data on file with the International Bureau