(EN) A semiconductor device can be fabricated using a photomask that has been modified using an assist feature design method based on normalized feature spacing. Before the device can be fabricated, a layout of original shapes is designed (402). For at least some of the original shapes, the width of the shape and a distance to at least one neighboring shape are measured (404). A modified shape can then be generated by moving edges of the original shape based on the width and distance measurements (406). This modification can be performed on some or all of the original shapes (408). For each of the modified shapes, a normalized space and correct number of assist features can be computed (410). The layout is then modified by adding the correct number of assist features in a space between the modified shape and the neighboring shape (412). This modified layout can then be used in producing a photomask, which can in turn be used to produce a semiconductor device.
(FR) Dispositif à semi-conducteur fabriqué à l'aide d'un photomasque qui a été modifié à l'aide d'un procédé de conception de barres d'assistance basé sur l'espacement normalisé des barres. Avant la fabrication du dispositif, une topologie des formes initiales est créée (402). Pour au moins certaines des formes initiales, la largeur de la forme et une distance par rapport à au moins une forme voisine sont mesurées. Une forme modifiée peut alors être produite par déplacement des bords de la forme initiale sur la base des mesures (406) de largeur et de distance. Cette modification peut être effectuée sur certaines seulement ou sur toutes les formes initiales (408). Pour chacune des formes modifiées, un espace normalisé et un nombre correct de barres d'assistance peuvent être calculés (410). La topologie est ensuite modifiée par ajout du nombre correct de barres d'assistance dans un espace situé entre la forme modifiée et la forme voisine (412). Cette topologie modifiée peut alors être utilisée pour produire un photomasque qui peut, à son tour, être utilisé pour produire un dispositif à semi-conducteur.
