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1. (WO2001038600) ARTICLES COATED WITH ALUMINUM NITRIDE BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/038600    International Application No.:    PCT/US2000/042236
Publication Date: 31.05.2001 International Filing Date: 22.11.2000
Chapter 2 Demand Filed:    22.06.2001    
IPC:
C23C 16/30 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), C23C 16/458 (2006.01), H02N 13/00 (2006.01)
Applicants: ADVANCED CERAMICS CORPORATION [US/US]; 11907 Madison Avenue, Lakewood, OH 44107-5026 (US)
Inventors: GILBERT, Michael, H., Sr.; (US)
Agent: MURTAUGH, John, P.; Pearne & Gordon LLP, Suite 1200, 526 Superior Avenue East, Cleveland, OH 44114-1484 (US)
Priority Data:
60/166,971 23.11.1999 US
Title (EN) ARTICLES COATED WITH ALUMINUM NITRIDE BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
(FR) ARTICLES REVETUS DE NITRURE D'ALUMINIUM PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR
Abstract: front page image
(EN)An article with a chemical vapor deposition (CVD) aluminum nitride coating (16) is disclosed. The article is a heating element, wafer carrier, or electrostatic chuck. The article has a substrate (10) made of nitride of aluminum or boron, and further has one or more graphite elements (12) for resistance heating (12, 28) or electromagnetic chucking (30) or both. A pyrolytic boron nitride layer (14) may be provided between the substrate (10) and the CVD aluminum nitride coating (16), and may either encompass or exclude the graphite element or elements (12).
(FR)L'invention concerne un article pourvu d'un revêtement de nitrure d'aluminium (16) par dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Cet article est un élément chauffant, un support de plaquette, ou un mandrin électrostatique. L'article comprend un substrat (10) fabriqué à partir d'un nitrure d'aluminium ou d'un nitrure de bore, ainsi qu'un ou plusieurs éléments en graphite (12) pour un chauffage par résistance (12, 28), un mandrinage électromagnétique (30) ou les deux. Une couche de nitrure de bore pyrolytique (14) peut être déposée entre le substrat (10) et le revêtement de nitrure d'aluminium (16) par CVD, et peut comprendre ou non un ou des éléments en graphite (12).
Designated States: DE, GB, JP, KR.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)