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1. (WO2001037457) VIRTUAL LASER OPERATOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/037457    International Application No.:    PCT/US2000/030055
Publication Date: 25.05.2001 International Filing Date: 31.10.2000
Chapter 2 Demand Filed:    08.05.2001    
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), H04B 10/155 (2006.01)
Applicants: CYMER, INC. [US/US]; 16750 Via Del Campo Court, San Diego, CA 92127-1712 (US) (For All Designated States Except US).
CARLESI, Jason, R. [US/US]; (US) (For US Only).
DUNLAP, David, J. [US/US]; (US) (For US Only).
FOMENKOV, Igor V. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: CARLESI, Jason, R.; (US).
DUNLAP, David, J.; (US).
FOMENKOV, Igor V.; (US)
Agent: ROSS, John, R.; Cymer, Inc., Legal Dept. - MS/3-2A, 16750 Via Del Campo Court, San Diego, CA 92127-1712 (US)
Priority Data:
09/442,140 17.11.1999 US
Title (EN) VIRTUAL LASER OPERATOR
(FR) OPERATEUR DE LASER VIRTUEL
Abstract: front page image
(EN)A laser controller (118) interconnected with an electric discharge laser communicates with a remote computer incorporating a display screen programmably emulating a conventional keyboard. The display screen has a plurality of imaged virtual keys each programmably emulating a physical key of a conventional keyboard. Some virtual keys programmable emulate a prescribed sequence of keystrokes, which control, monitor, and record the laser operation. A prescribed sequence can optionally be automated, conditional, or interrupted by operator prompts. The remote computer communicates serially with the laser controller through an electrically conductive cable, a fiberoptic link, or a wireless channel. A keystroke is typically applied by manually pressing the position of a corresponding virtual key on a touch sensitive screen, or alternatively by actuating a conventional pointing device. The electrical discharge laser can be a KrF or a ArF excimer laser, or a F2 molecular laser, which can be applied as a radiation exposure source for microlithography.
(FR)L'invention concerne une commande de laser (118) interconnectée à un laser à décharge électrique, qui communique avec un ordinateur distant qui comprend un écran d'affichage imitant, de façon programmable, un clavier traditionnel. L'écran d'affichage comporte plusieurs touches virtuelles visualisées qui imitent toutes, de façon programmable, une touche physique d'un clavier traditionnel. Certaines touches virtuelles imitent, de façon programmable, une séquence déterminée de frappes qui commandent, surveillent et enregistrent le fonctionnement du laser. Une séquence prédéterminée peut éventuellement être automatisée, conditionnelle, ou interrompue par des guides opérateur. L'ordinateur distant communique en série avec la commande de laser par un câble électriquement conducteur, une liaison à fibres optiques ou un canal sans fil. On effectue généralement une frappe en appuyant sur la position d'une touche virtuelle correspondante sur un écran tactile, ou éventuellement en utilisant un dispositif de pointage traditionnel. Le laser à décharge électrique peut être un laser à excimères KrF ou ArF, ou un laser moléculaire F2, qui peut être appliqué comme source d'exposition aux rayonnements pour la microlithographie.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)