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1. (WO2001035451) ILLUMINATOR, ALIGNER, AND METHOD FOR FABRICATING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2001/035451 International Application No.: PCT/JP2000/007830
Publication Date: 17.05.2001 International Filing Date: 08.11.2000
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: SHIRAISHI, Naomasa[JP/JP]; JP (UsOnly)
NIKON CORPORATION[JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331, JP (AllExceptUS)
Inventors: SHIRAISHI, Naomasa; JP
Agent: TATEISHI, Atsuji; Paseo Building 5th floor 4-20, Haramachida 5-chome Machida-shi, Tokyo 194-0013, JP
Priority Data:
11/31773209.11.1999JP
Title (EN) ILLUMINATOR, ALIGNER, AND METHOD FOR FABRICATING DEVICE
(FR) ILLUMINATEUR, ALIGNEUR, ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN TEL DISPOSITIF
Abstract: front page image
(EN) An illuminator comprises a unit (18) for splitting an incident energy beam (57) from a laser light source reflected from reflectors (48a, 48b, 48c) into a plurality of light beams, making mutually different the optical path lengths of the split light beams from the laser light source to the illuminated face and imparting differences of optical path length (difference of optical path) longer than the temporal coherence length. Consequently, generation of speckles (interference fringes) deteriorating the uniformity of illuminance on the illuminated face can be suppressed. Since reflectors having reflectance of 95% or above can be employed as the ones constituting the light beam splitting unit (18), the loss of the quantity of light is reduced and an abundant quantity of illumination light can be supplied to the illuminated face. Such suppression of speckles is especially advantageous when laser light having high spatial coherence is employed.
(FR) La présente invention concerne un illuminateur comprenant un diviseur de faisceau (18) utilisé pour diviser en une pluralité de faisceaux lumineux un faisceau d'énergie incidente (57) provenant d'une source de lumière laser renvoyée par des réflecteurs (48a, 48b, 48c). Entre la source de lumière laser et la surface éclairée, les longueurs de trajet optique des faisceaux de division de lumière obtenus varient de l'un à l'autre, d'où des différences de longueurs de trajets optiques (différences de trajets optiques) supérieures à la longueur de cohérence temporelle. On évite ainsi les chatoiements (franges d'interférence), sources d'une diminution de l'uniformité d'éclairement lumineux de la surface éclairée. En employant pour le diviseur de faisceau lumineux (18) des réflecteurs dont le facteur de réflexion est d'au moins 95%, on ramène à un minimum les pertes de lumière, ce qui permet de restituer sur la surface éclairée une grande partie de la lumière d'éclairage. Cette suppression du chatoiement est particulièrement intéressante lorsqu'on la lumière laser utilisée est à forte cohérence spatiale.
Designated States: AE, AL, AU, BA, BB, BG, BR, CA, CN, CR, CU, CZ, DM, DZ, EE, GD, GE, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KP, KR, LC, LK, LR, LT, LV, MA, MG, MK, MN, MX, NO, NZ, PL, RO, SG, SI, SK, TT, UA, US, UZ, VN, YU, ZA
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)