Some content of this application is unavailable at the moment.
If this situation persist, please contact us atFeedback&Contact
1. (WO2001035449) DEVICE FOR ASSEMBLY OF COMPONENT SUPPORTS FOR MICROSYSTEMS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2001/035449 International Application No.: PCT/EP2000/011067
Publication Date: 17.05.2001 International Filing Date: 09.11.2000
Chapter 2 Demand Filed: 11.06.2001
IPC:
H01L 21/00 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
Applicants:
HÜGLER, Klaus [DE/DE]; DE (UsOnly)
ASYS GMBH + CO. KG [DE/DE]; Gottlob-Bauknecht-Strasse 4 73614 Schorndorf, DE
Inventors:
HÜGLER, Klaus; DE
Agent:
MÜLLER, Gottfried ; Wittner & Müller Am Ochsenberg 16 73614 Schorndorf, DE
Priority Data:
199 53 949.909.11.1999DE
Title (EN) DEVICE FOR ASSEMBLY OF COMPONENT SUPPORTS FOR MICROSYSTEMS
(FR) DISPOSITIF POUR METTRE EN PLACE DES COMPOSANTS SUR DES SUPPORTS DE PIECES DESTINES A DES MICROSYSTEMES
(DE) VORRICHTUNG ZUM BESTÜCKEN VON TEILETRÄGERN FÜR MIKROSYSTEME
Abstract:
(EN) A device for the assembly of component supports for microsystems is disclosed, in particular a process module for work-stations built in a cluster system, optionally for application in clean room technology. Said device, when working with palettes or work pieces, permits the loading, sorting, changing and/or assembly of component supports, in particular, plate-like component supports with components.
(FR) L'invention concerne un dispositif pour mettre en place des composants sur des supports de pièces destinés à des microsystèmes, notamment un module de processus pour des centres de travail se présentant sous la forme de groupes, éventuellement destinés à être exploités selon la technique de production en salle blanche. Ce dispositif permet de charger, trier, déplacer des composants sur des palettes et/ou sur des pièces, et/ou de mettre en place ces composants sur des supports de pièces, notamment en forme de disque.
(DE) Es wird eine Vorrichtung zum Bestücken von Teileträgern für Mikrosysteme, insbesondere ein Prozeßmodul für in Clusterbauweise aufgebaute, gegebenenfalls in Reinraumtechnik zu betreibende Arbeitszentren vorgeschlagen, die im Bezug auf Paletten und/oder Werkstücke das Beladen, Sortieren, Umsetzen und/oder Bestücken von Teileträgern, insbesondere scheibenförmigen Teileträgern mit Bauteilen ermöglicht.
front page image
Designated States: US
European Patent Office (EPO) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)