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1. (WO2001035084) OPTICAL INSPECTION APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/035084    International Application No.:    PCT/JP1999/006281
Publication Date: 17.05.2001 International Filing Date: 11.11.1999
Chapter 2 Demand Filed:    11.11.1999    
IPC:
G01N 21/88 (2006.01)
Applicants: HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 1126-1, Ichino-cho Hamamatsu-shi Shizuoka-ken 435-8558 (JP) (For All Designated States Except US).
KOIKE, Takashi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ITO, Toyoshi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KOIKE, Takashi; (JP).
ITO, Toyoshi; (JP)
Agent: HASEGAWA, Yoshiki; Soei Patent and Law Firm Okura-Honkan 6-12, Ginza 2-chome Chuo-ku Tokyo 104-0061 (JP)
Priority Data:
Title (EN) OPTICAL INSPECTION APPARATUS
(FR) APPAREIL D'INSPECTION OPTIQUE
Abstract: front page image
(EN)An optical inspection apparatus (1) adapted to detect a hole portion of an object to be inspected (11), comprising a light source (41) adapted to emit irradiation light from light emitting points (41a) existing linearly or planarly, and apply the same to the object to be inspected, a fluorescent member (61) disposed on the opposite side of the light source with the object to be inspected interposed therebetween, and having incident surfaces 61A which the part of the irradiation light which has passed through the hole portion enters, and a detecting surface 61B from which the fluorescence occurring simultaneously with the entry of the irradiation light into the incident surfaces is sent out, and an optical detector (71) adapted to detect the fluorescence sent out from the detecting surface of the fluorescent member.
(FR)La présente invention concerne un appareil d'inspection optique (1) conçu pour détecter une partie trouée d'un objet à inspecter (11). Cet appareil comporte une source lumineuse (41) conçue pour émettre une lumière irradiée à partir de points d'émission de lumière (41a) situées de façon linéaire ou planaire, et pour appliquer celle-ci sur l'objet à inspecter, un élément fluorescent (61) disposé sur le côté opposé de la source lumineuse, l'objet à inspecter étant interposé entre eux deux, et présentant des surfaces incidentes (61A) dans lesquelles pénètre la partie de lumière irradiée ayant traversé la partie trouée, et une surface de détection (61B) à partir de laquelle est envoyée la fluorescence qui se produit lorsque la lumière irradiée pénètre dans les surfaces incidentes, et enfin, un détecteur optique (71) conçu pour détecter la fluorescence émise de la surface de détection de l'élément fluorescent.
Designated States: AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)