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1. (WO2001035073) AUTOMATIC ETCHANT REGENERATION SYSTEM WITH HIGHLY ACCURATE SENSOR FOR MONITORING ETCHANT COMPOSITION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/035073    International Application No.:    PCT/US2000/020856
Publication Date: 17.05.2001 International Filing Date: 27.07.2000
Chapter 2 Demand Filed:    26.02.2001    
IPC:
C23F 1/46 (2006.01), G01N 21/05 (2006.01), G01N 21/31 (2006.01)
Applicants: OXFORD, V. U. E., INC. [US/US]; 11711 Clark Street, Suite 108, Arcadia, CA 91301 (US) (For All Designated States Except US).
CULPOVICH, Philip [US/US]; (US).
FLYNN, David [US/US]; (US)
Inventors: CULPOVICH, Philip; (US).
FLYNN, David; (US)
Agent: HASAN, Syed, A.; Christie, Parker & Hale, LLP, P.O. Box 7068, Pasadena, CA 91109-7068 (US)
Priority Data:
60/146,100 27.07.1999 US
Title (EN) AUTOMATIC ETCHANT REGENERATION SYSTEM WITH HIGHLY ACCURATE SENSOR FOR MONITORING ETCHANT COMPOSITION
(FR) SYSTEME DE REGENERATION AUTOMATIQUE D'AGENT DE GRAVURE METTANT EN OEUVRE UN CAPTEUR TRES PRECIS POUR LE CONTROLE DE LA COMPOSITION DE L'AGENT DE GRAVURE
Abstract: front page image
(EN)A highly accurate sensor for monitoring the color density of various etchants in etchant regeneration systems is disclosed. The sensor comprises a Pyrex or equivalent tubular sensing chamber (1) and a light cell housing surrounding a portion of the chamber (1). The chamber (1) contains a rodlike extension (2) extending into the interior of the chamber (1). The housing accommodates a light source (5), preferably an LED or laser, and a photodetector (7), optically coupled through an aperture in the housing. Two such sensors are used in a regeneration apparatus attached to an etching machine used for etching copper, iron, stainless steels or other materials. In another embodiment, multiple sensors are used to detect multiple constituents of the etchants depending on the material being etched and the etchant used. A system employing two sets of sensors is particularly applicable to etchants that pass one color of light well when fully regenerated and another color of light well when fully spent.
(FR)L'invention se rapporte à un capteur très précis de contrôle de la densité de couleur des divers agents de gravure dans des systèmes de régénération d'agents de gravure. Ledit capteur comporte une chambre de détection(1) tubulaire en verre réfractaire ou équivalent et un logement pour cellule lumineuse entourant une partie de la chambre (1). Ladite chambre (1) comprend un prolongement (2) de type tige qui fait saillie dans son espace intérieur. Ledit logement est conçu pour loger une source lumineuse (5), de préférence une diode électroluminescente ou un laser, et un photodétecteur (7), optiquement couplé par l'intermédiaire d'une ouverture ménagée dans le logement. Deux capteurs de ce type sont mis en oeuvre dans un appareil de régénération fixé à un équipement de gravure utilisé pour graver du cuivre, du fer, des aciers inoxydables ou d'autres matières. Dans une autre réalisation, de multiples capteurs sont mis en oeuvre pour détecter de multiples constituants des agents de gravure en fonction de la matière subissant la gravure et de l'agent de gravure utilisé. Un système mettant en oeuvre deux ensembles de capteurs est particulièrement destiné à des agents de gravure qui laissent bien passer une couleur de lumière lorsqu'ils sont totalement régénérés et laissent bien passer une autre couleur de lumière lorsqu'ils sont totalement épuisés.
Designated States: AE, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)