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1. (WO2001033141) COMBUSTOR FOR EXHAUST GAS TREATMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/033141    International Application No.:    PCT/JP2000/007691
Publication Date: 10.05.2001 International Filing Date: 01.11.2000
Chapter 2 Demand Filed:    06.03.2001    
IPC:
F23G 5/32 (2006.01), F23G 7/06 (2006.01), F23L 7/00 (2006.01), F23M 11/04 (2006.01)
Applicants: EBARA CORPORATION [JP/JP]; 11-1 Haneda Asahi-cho, Ohta-ku, Tokyo 144-8510 (JP) (For All Designated States Except US).
TAKEMURA, Yoshiro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KOMAI, Tetsuo [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KAWAMURA, Kotaro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TSUJI, Takeshi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
OKUDA, Kazutaka [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NAKAMURA, Rikiya [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ISHIKAWA, Keiichi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
OHASHI, Tomonori [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MUROGA, Yasutaka [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NISHIKAWA, Tadakazu [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SHIRAO, Yuji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
YAMADA, Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: TAKEMURA, Yoshiro; (JP).
KOMAI, Tetsuo; (JP).
KAWAMURA, Kotaro; (JP).
TSUJI, Takeshi; (JP).
OKUDA, Kazutaka; (JP).
NAKAMURA, Rikiya; (JP).
ISHIKAWA, Keiichi; (JP).
OHASHI, Tomonori; (JP).
MUROGA, Yasutaka; (JP).
NISHIKAWA, Tadakazu; (JP).
SHIRAO, Yuji; (JP).
YAMADA, Hiroyuki; (JP)
Agent: WATANABE, Isamu; Gowa Nishi-Shinjuku 4F, 5-8, Nishi-Shinjuku 7-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 160-0023 (JP)
Priority Data:
11/312762 02.11.1999 JP
2000-294632 27.09.2000 JP
2000-302410 02.10.2000 JP
2000-302411 02.10.2000 JP
Title (EN) COMBUSTOR FOR EXHAUST GAS TREATMENT
(FR) APPAREIL DE COMBUSTION POUR LE TRAITEMENT DE GAZ D'EMISSION
Abstract: front page image
(EN)A combust or for combustion type exhaust gas treatment device capable of simultaneously decomposing, at a high decomposition ratio, exhaust gases from a semi-conductor manufacturing device, particularly, a deposit gas containing SiH4 and a halogen gas, capable of making it difficult for SiO2 powder to adhere or deposit thereon, capable of realizing a low NOx combustion, and also capable of assuring safety, wherein a flame holding chamber (15) is provided which is open toward a combustion chamber (11), surrounded by a peripheral wall (12), and closed by a plate body (14) on the side opposite to the combustion chamber, exhaust gases, combustion improver, and air are introduced into the flame holding chamber (15) and then mixed with each other, and the mixed gas is injected toward the combustion chamber (11) vertically relative to the plate body (14).
(FR)Cette invention se rapporte à un appareil de combustion pour un dispositif de traitement de gaz d'émission du type à combustion, qui est capable de décomposer simultanément, à une vitesse de décomposition élevée, les gaz d'émission provenant d'un dispositif de fabrication de semi-conducteurs, notamment les gaz de dépôt contenant du SiH4 et un gaz halogène, qui est capable de rendre difficile l'adhésion ou le dépôt de poudre de SiO2 sur ledit dispositif, qui est capable de réaliser une combustion à faible émission de NOx et qui est également capable d'en assurer la sécurité. A cet effet, on prévoit une chambre (15) de confinement des flammes, qui est ouverte en direction d'une chambre de combustion (11), entourée par une paroi périphérique (12) et fermée par un corps à plaque (14) sur le côté opposé à la chambre de combustion; les gaz d'émission, un agent d'amélioration de la combustion et de l'air sont introduits dans cette chambre (15) de confinement des flammes et mélangés ensuite les uns aux autres; et le gaz mélangé est injecté dans la chambre de combustion (11) verticalement par rapport au corps à plaque (14).
Designated States: KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)