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1. (WO2001032949) METHOD AND DEVICE FOR PLASMA COATING SURFACES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/032949    International Application No.:    PCT/EP2000/002401
Publication Date: 10.05.2001 International Filing Date: 17.03.2000
Chapter 2 Demand Filed:    25.05.2001    
IPC:
C23C 4/12 (2006.01), C23C 8/36 (2006.01), H05H 1/30 (2006.01), H05H 1/34 (2006.01)
Applicants: AGRODYN HOCHSPANNUNGSTECHNIK GMBH [DE/DE]; Bisamweg 10, D-33803 Steinhagen (DE) (For All Designated States Except US).
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Leonrodstrasse 54, D-80636 München (DE) (For All Designated States Except US).
FÖRNSEL, Peter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BUSKE, Christian [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HARTMANN, Uwe [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BAALMANN, Alfred [DE/DE]; (DE) (For US Only).
ELLINGHORST, Guido [DE/DE]; (DE) (For US Only).
VISSING, Klaus-D. [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: FÖRNSEL, Peter; (DE).
BUSKE, Christian; (DE).
HARTMANN, Uwe; (DE).
BAALMANN, Alfred; (DE).
ELLINGHORST, Guido; (DE).
VISSING, Klaus-D.; (DE)
Agent: WIEBUSCH, Manfred; Artur-Ladebeck-Str. 51, D-33613 Bielefeld (DE)
Priority Data:
299 19 142.7 30.10.1999 DE
Title (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR PLASMABESCHICHTUNG VON OBERFLÄCHEN
(EN) METHOD AND DEVICE FOR PLASMA COATING SURFACES
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF SERVANT AU REVETEMENT PAR PLASMA DE SURFACES
Abstract: front page image
(DE)Verfahren zur Beschichtung von Oberflächen, bei dem mit Hilfe eines Plasmas ein Precursormaterial zur Reaktion gebracht und das Reaktionsprodukt auf der Oberfläche (34) abgeschieden wird, wobei sowohl die Reaktion als auch das Abscheiden unter Atmosphärendruck erfolgen, dadurch gekennzeichnet, dass durch Hindurchleiten eines Arbeitsgases durch eine Anregungszone (12) ein Plasmastrahl (28) erzeugt wird und das Precursormaterial mit einer Lanze (32) getrennt vom Arbeitsgas in den Plasmastrahl eingespeist wird.
(EN)The invention relates to a method for coating surfaces, according to which a precursor material is made to react by way of a plasma and the reaction product is deposited on the surface (34), both the reaction and the deposition proceeding at atmospheric pressure. According to the inventive method, a plasma jet (28) is produced by passing a working gas through an excitation zone (12) and the precursor material is supplied to the plasma jet by means of a lancet (32) separately from the working gas.
(FR)La présente invention concerne un procédé permettant de revêtir des surfaces, dans lequel un matériau précurseur est mis en réaction au moyen d'un plasma et le produit réactionnel est déposé sur la surface (34), la réaction et la déposition étant toutes deux réalisées sous pression atmosphérique normale. Ledit procédé se caractérise en ce qu'un arc de plasma (28) est produit grâce au passage d'un gaz de travail par une zone d'excitation (12), et en ce que le matériau précurseur est placé dans le jet de plasma, séparément du gaz de travail, au moyen d'une lance (32).
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)