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1. (WO2001029593) ION EXCHANGE WAVEGUIDES AND METHODS OF FABRICATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/029593    International Application No.:    PCT/US1999/026662
Publication Date: 26.04.2001 International Filing Date: 10.11.1999
Chapter 2 Demand Filed:    11.05.2001    
IPC:
C30B 33/00 (2006.01), G02B 6/12 (2006.01), G02B 6/134 (2006.01), G02F 1/035 (2006.01)
Applicants: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY [US/US]; 1200 East California Boulevard Pasadena, CA 91125 (US)
Inventors: BURROWS, Lee, J.; (US)
Agent: RITCHIE, David, B.; Thelen Reid & Priest LLP P.O. Box 640640 San Jose, CA 95164-0640 (US)
Priority Data:
09/419,347 15.10.1999 US
Title (EN) ION EXCHANGE WAVEGUIDES AND METHODS OF FABRICATION
(FR) GUIDES D'ONDES OBTENUS PAR ECHANGE IONIQUE ET LEURS PROCEDES DE FABRICATION
Abstract: front page image
(EN)A method for fabricating ion exchange waveguides, such as lithium niobate or lithium tantalate waveguides in optical modulators includes ion exchanging the crystalline substrate (102) with a source of ions and annealing the substrate by pressurizing a gas atmosphere containing the lithium niobate or lithium tantalate substrate above normal atmospheric pressure, heating the substrate to a temperature ranging from about 150 degrees Celsius to about 1000 degrees Celsius, maintaining pressure and temperature to effect greater ion diffusion and limit exchange, and cooling the structure to an ambient temperature at an appropriate ramp down rate. In another aspect of the invention a powder (110) of the same chemical composition as the crystalline substrate (102) is introduced into the anneal process chamber (100) to limit the crystalline substrate from outgassing alkaline earth metal oxide during the anneal period. In yet another aspect of the invention an anneal container (100) is provided that allows for crystalline substrates (102) to be annealed in the presence of powder (110) without contaminating the substrate with the powder during the anneal process. Waveguides manufactured in accordance with the method exhibit superior drift performance.
(FR)L'invention concerne un procédé de fabrication de guides d'ondes obtenus par échange ionique, notamment des guides de niobate de lithium ou de tantalate de lithium placés dans des modulateurs optiques consistant à effectuer l'échange d'ions du substrat cristallin (102) avec une source d'ions, à recuire le substrat par mise sous pression d'une atmosphère gazeuse renfermant le substrat de niobate de lithium ou de tantalate de lithium à une pression supérieure à la pression atmosphérique normale, à le chauffer à une température comprise entre environ 150 et 1000 °C, à maintenir la température et la pression afin d'assurer une diffusion ionique plus étendue et limiter l'échange et à refroidir la structure à une température ambiante à une vitesse d'abaissement appropriée. Selon une autre variante, une poudre (110) présentant la même composition chimique que le substrat cristallin (102), est introduite dans la chambre de recuit (100) pour limiter le dégazage par le substrat cristallin d'un oxyde de métal terreux alcalin pendant le recuit. Selon une autre variante, un conteneur de recuit (100) permet le recuit des substrats cristallins (102) en présence d'une poudre (110) sans contaminer le substrat avec la poudre pendant le recuit. Des guides d'ondes fabriqués selon ce procédé font preuve d'une performance supérieure de dérive.
Designated States: AE, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)