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1. (WO2001029554) MASS-SENSITIVE SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/029554    International Application No.:    PCT/EP2000/009424
Publication Date: 26.04.2001 International Filing Date: 27.09.2000
Chapter 2 Demand Filed:    26.04.2001    
IPC:
G01N 29/02 (2006.01)
Applicants: FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH [DE/DE]; Weberstr. 5, 76133 Karlsruhe (DE) (For All Designated States Except US).
BARIÈ, Nicole [DE/DE]; (DE) (For US Only).
STAHL, Ullrich [DE/DE]; (DE) (For US Only).
RAPP, Michael [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: BARIÈ, Nicole; (DE).
STAHL, Ullrich; (DE).
RAPP, Michael; (DE)
Common
Representative:
FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH; Stabsabteilung Patente und Lizenzen, Postfach 3640, 76021 Karlsruhe (DE)
Priority Data:
199 49 739.7 15.10.1999 DE
Title (DE) MASSESENSITIVER SENSOR
(EN) MASS-SENSITIVE SENSOR
(FR) DETECTEUR SENSIBLE A LA MASSE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft einen massesensitiven Sensor bestehend aus einem akustischen Oberflächenwellen-Bauelement auf Scherwellenbasis. Aufgabe der Erfindung ist es, den massensensitiven Sensor der e.g. Art so auszugestalten, dass bei gesteigerter Empfindlichkeit die empfindlichen Aluminiumstrukturen des Sensors ausreichend gegen Korrosion geschützt sind. Gelöst wird diese Aufgabe dadurch, dass die aktive Oberfläche des Sensors zwei verschiedene Schichten trägt, eine Parylenschicht mit einer Dicke zwischen 0,2 und < 1,6 $g(m)m, wobei diese Parylenschicht der Erzeugung von Love-Wellen dient und eine Nutzschicht, welche mit einem Analyten, der in einem Medium enthalten ist, wechselwirkt.
(EN)The invention relates to a mass-sensitive sensor comprised of an acoustic surface wave component based on shear waves. The aim of the invention is to design the mass-sensitive sensor of the aforementioned type such that, in the instance of increased sensitivity, the sensitive aluminum structures of the sensor are sufficiently protected against corrosion. To this end, the active surface of the sensor supports two different layers of which one is a parylene layer having a thickness between 0.2 and < 1.6 $g(m)m, whereby this parylene layer serves to generate Love waves, and the other is a wear layer which interacts with an analyte contained in a medium.
(FR)L'invention concerne un détecteur sensible à la masse, qui comprend un composant acoustique à ondes de surface à base d'ondes de cisaillement. L'invention vise à concevoir le détecteur sensible à la masse du type précité, de manière qu'en cas de sensibilité accrue, les structures aluminium sensibles du détecteur soient suffisamment protégées contre la corrosion. A cet effet, il est prévu que la surface active du détecteur porte deux différentes couches, une couche de parylène d'une épaisseur comprise entre 0,2 et < 1,6 $g(m)m, cette couche de parylène servant à produire des ondes de Love, et une couche d'usure qui coopère avec un analyte contenu dans un milieu.
Designated States: CA, JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)