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1. (WO2001028048) ENERGY CONTROL FOR AN EXCIMER OR MOLECULAR FLUORINE LASER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/028048    International Application No.:    PCT/IB2000/001657
Publication Date: 19.04.2001 International Filing Date: 13.10.2000
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), H01S 3/038 (2006.01), H01S 3/134 (2006.01), H01S 3/22 (2006.01), H01S 3/225 (2006.01)
Applicants: LAMBDA PHYSIK AG [DE/DE]; Hans-Böckler-Strasse 12, 37079 Göttingen (DE)
Inventors: REBHAN, Ulrich; (DE).
NOWINSKY, Gunter; (DE)
Agent: VON HELLFELD, Axel; Wuesthoff & Wuesthoff, Schweigerstrasse 2, 81541 München (DE)
Priority Data:
09/418,052 14.10.1999 US
60/159,525 15.10.1999 US
09/447,882 23.11.1999 US
60/171,717 22.12.1999 US
09/484,818 18.01.2000 US
Title (EN) ENERGY CONTROL FOR AN EXCIMER OR MOLECULAR FLUORINE LASER
(FR) CONTROLE DE L'ENERGIE D'UN LASER A EXCIMERES OU AU FLUOR
Abstract: front page image
(EN)A method and gas replenishment algorithm for excimer and molecular fluorine lasers is based on parameters upon which gas aging more closely depends than pulse count, such as input energy to the electrical discharge, and also preferably time. A burst control method and algorithm includes measuring the energies of initial pulses of a first burst occurring after a long burst break, calculating values of input voltages for the initial pulses that would bring output energies of the individual laser pulses or groups of pulses to substantially the same values, and applying the calculated voltages in a subsequent first burst after a long burst break to achieve substantially same predetermined output energy values for the pulses or groups of pulses. Similar operations may be performed for one or more subsequent bursts following the first burst. The values for the first burst may be maintained in a first table of input voltage values to be read by a processor which signals a power supply circuit to apply the voltages according to the voltage values in the table. The values for subsequent bursts may be maintained in a second table, and a third table, etc. A final table such as the third table may be used for all subsequent bursts until another long burst break again occurs, after which the first table is again used for the first burst following the long burst break.
(FR)L'invention concerne un procédé et un algorithme de réapprovisionnement en gaz pour des lasers à excimères et des lasers moléculaires à fluor, basés sur les paramètres dont le vieillissement des gaz dépend plus directement que le comptage d'impulsions, tels que l'énergie d'entrée vers la décharge électrique et, de préférence, également le temps. Un procédé et un algorithme de régulation des rafales consistent à mesurer les énergies des impulsions initiales d'une première rafales se produisant après une longue pause, à calculer les valeurs des tensions d'entrée pour les impulsions initiales qui ramèneraient les énergies de sortie des impulsions individuelles du laser, ou des groupes d'impulsions, sensiblement aux mêmes valeurs, et à appliquer les tensions calculées dans une première rafale suivante après une longue pause afin de parvenir sensiblement aux mêmes valeurs d'énergie de sortie préalablement déterminées pour les impulsions ou groupes d'impulsions. On peut effectuer des opérations similaires pour au moins une rafale suivante, après la première rafale. Les valeurs de la première rafale peuvent être conservées dans un première table des valeurs de la tension d'entrée, destinée à être lues par un processeur qui signale à un circuit d'alimentation électrique d'appliquer les tensions conformément aux valeurs des tensions dans la table. Les valeurs des rafales suivantes peuvent être conservées dans une deuxième table, une troisième et ainsi de suite. On peut utiliser une table finale, telle que la troisième table, pour toutes les rafales ultérieures jusqu'à ce qu'une autre longue pause se produise, après laquelle on utilise de nouveau la première table pour la première rafale suivant la pause.
Designated States: DE, JP.
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)